包括腔和机械过滤结构的用于环境感测半导体器件

摘要

本公开的实施例包括腔和机械过滤结构的用于环境感测半导体器件。用于环境感测的半导体器件包括：由孔横穿的盖；以及被机械地耦接到盖来界定腔的主体，腔被插入在主体与盖之间。主体包括半导体本体和耦接结构，耦接结构被插入在半导体本体与盖之间并且横向地界定通道，通道将腔和孔流体地耦接。通道执行比由孔执行的机械过滤更精细的机械过滤。