用于钌化学机械抛光的不含氧化剂的浆料

摘要

本发明提供化学机械抛光组合物，其包含：(a)维氏硬度为16GPa或更大的研磨剂，及(b)液体载剂，其中该抛光组合物基本上不含氧化剂且其中该抛光组合物具有约0至约7的pH。本发明进一步提供使用抛光组合物对基板尤其是包含钌的基板进行抛光的方法。