一种真空热压烧结法制备的高性能氮化铝陶瓷基板及制备方法

摘要

本发明公开了一种真空热压烧结法制备的高性能氮化铝陶瓷基板及制备方法，涉及氮化铝陶瓷技术领域。其由以下重量份组分用真空热压烧结法制备得到：氮化铝90‑100份，稀土氢化物0‑10份；或者，氮化铝90‑100份，稀土氢化物0‑10份，稀土氟化物0‑10份。本发明提供的真空热压烧结法制备的高性能氮化铝陶瓷基板，稀土氢化物、稀土氢化物与稀土氟化物作为烧结助剂，其加入有助于降低烧结的温度，促进烧结致密；选用的烧结助剂可与氧杂质反应，净化晶格，有效提高热导率。本发明提供的真空热烧结法进行制备的陶瓷基板，在炉体压力的作用下，以及流动氮气氛围下有利于氮化铝的生成，进一步促进烧结致密化，同时能有效减小晶粒的尺寸，从而提高陶瓷的抗弯强度。