公开/公告号CN113355746A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 上海昌润极锐超硬材料有限公司;
申请/专利号CN202110658265.0
申请日2021-06-15
分类号C30B29/04(20060101);C30B25/00(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人金彦;许亦琳
地址 201611 上海市松江区申港路3802号11幢A区
入库时间 2023-06-19 12:30:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-31
授权
发明专利权授予
机译: 金刚石-聚合物复合垫及其制造方法,以及一种硅晶片抛光方法和装置,其能够扩大硅晶片的有效面积以增加产量
机译: 一种用于制造用于研磨工作的多层金刚石电沉积轮的电沉积装置及其制造用于制造用于研磨工作的多层金刚石电沉积轮的方法
机译: 一种用于制造用于研磨工作的多层金刚石电沉积轮的电沉积装置及其制造用于制造用于研磨工作的多层金刚石电沉积轮的方法