用于降低检验系统中由辐射诱导的假计数的系统及方法

摘要

本申请实施例涉及一种用于降低检验系统中由辐射诱导的假计数的系统及方法。一种具有由辐射诱导的假计数缓解的检验系统包含：照明源，其经配置以照明样品；检测器组合件，其包括经配置以检测来自样品的照明的照明传感器及经配置以检测粒子辐射的一或多个辐射传感器；及控制电路，其通信地耦合到检测器。控制电路经配置以执行以下步骤：基于从辐射传感器接收的一或多个辐射信号确定辐射检测事件集合；基于从照明传感器接收的照明信号确定成像事件集合；比较辐射检测事件集合与成像事件集合以产生重合事件集合，其中重合事件集合包括同时成像事件及辐射检测事件；及从成像事件集合排除重合事件集合以产生经识别缺陷位点集合。