一种基于多物理场耦合建模的体声波滤波器及其设计方法

摘要

本发明涉及一种基于多物理场耦合建模的体声波滤波器及其设计方法，涉及多物理场仿真技术领域，用以提高薄膜体声波谐振滤波器优化设计的效率，所述薄膜体声波谐振滤波器的优化设计方法具体包括：建立薄膜体声波谐振滤波器等效电路模型与物理模型之间的映射关系。先进行等效电路模型参数的仿真，在根据等效电路模型参数以及映射关系得到物理模型参数，进行物理模型参数的仿真，该方案可对薄膜体声波谐振滤波器进行更高效的优化设计。