公开/公告号CN113340179A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-03
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州思看科技有限公司;
申请/专利号CN202110647405.4
申请日2021-06-10
分类号G01B5/14(20060101);G01B3/04(20060101);
代理机构33250 杭州华进联浙知识产权代理有限公司;
代理人龙伟
地址 311121 浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路998号12幢101室
入库时间 2023-06-19 12:27:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-04
著录事项变更 IPC(主分类):G01B 5/14 专利申请号:2021106474054 变更事项:申请人 变更前:杭州思看科技有限公司 变更后:思看科技(杭州)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:311121 浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路998号12幢101室 变更后:311121 浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路998号12幢1单元102室
著录事项变更
机译: 用基准尺和平行尺测量工作台倾斜尺
机译: 基板,微结构,基准尺的制作方法以及微结构的长度测定方法
机译: 宏微复合光栅尺测量系统及使用该系统的测量方法,包括宏读取模块,微读取模块和测量基准线