一种新型抗磁悬浮电压感应式微驱动器及其控制方法

摘要

本发明公开了一种新型抗磁悬浮电压感应式微驱动器，包括：自下而上依次设置的永磁体阵列、驱动系统和悬浮平台，所述永磁体阵列为包括N块长方体磁铁，N为偶数，自然吸合在一起，呈对称布置；所述驱动系统包括两相交流电、四相交流电、四相并联驱动电极、两相并联驱动电极、第一感应电极、第二感应电极。本发明的一种新型的抗磁悬浮电压感应式微驱动器实现了解决了微驱动器由于尺寸的减小而造成的摩擦力影响大的问题，并且该驱动器是在无声条件下驱动的，提高了微系统的性能和稳定性；微驱动器可编程控制，通过数字控制可进行精准控制，可靠性高。