压电直线电机的滤波器型二阶终端离散滑模控制器

摘要

一种压电直线电机的滤波器型二阶终端离散滑模控制器，属于控制工程技术领域。本发明的目的是减弱了传统离散滑模控制器在对强非线性被控对象进行控制时超调较大、调节时间较长、易振荡等问题对控制精度的影响，实现了对压电直线电机高精度控制的压电直线电机的滤波器型二阶终端离散滑模控制器。本发明根据频域性能指标设计串联校正控制器；在设计的串联校正控制器基础上，引入扰动估计项，建立带有扰动估计的压电直线电机的等效输入‑输出动态模型；在系统精确模型难以获得的情况下，设计基于带有扰动估计的动态模型设计滤波器型2‑TDSMC。本发明对提高电机的定位精度，推进超高精密领域与集成电路制造产业的发展具有十分重要的研究意义。