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位移传感器、位移分析系统及分析方法

摘要

本发明提供一种位移传感器、位移分析系统及分析方法,所述位移传感器包括:传感元件,包括由至少两个电感所组成的电感阵列;移动金属件,设置于所述传感元件的一侧,用于与所述传感元件发生相对移动;驱动与处理电路,与所述传感元件电连接,用于驱动所述传感元件产生LC振荡,并分析各电感的LC振荡幅度的差异。本发明提供了一种新的非接触式的位移计量方法,结构简单、安装方便,通过电感阵列与移动金属件发生相对移动时,导致电感阵列中不同位置的电感在LC振荡时受到的涡流与互感效应发生变化,从而引起不同电感在LC振荡幅度上的差异,并根据该差异检测移动金属件的移动信息。

著录项

  • 公开/公告号CN113295080A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海信朴臻微电子有限公司;

    申请/专利号CN202010275104.9

  • 发明设计人 张微成;周千松;周健军;

    申请日2020-04-09

  • 分类号G01B7/02(20060101);

  • 代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);

  • 代理人徐秋平

  • 地址 200000 上海市徐汇区区桂平路680号32幢406B室

  • 入库时间 2023-06-19 12:19:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-04-21

    授权

    发明专利权授予

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