一种用于超低温真空环境的光束对准装置与对准方法

摘要

本发明提供了一种用于超低温真空环境的光束对准装置与对准方法，其中装置包括：超低温真空仓体，对准目标，真空接口，真空程控位移台，导引激光模块，对准装置真空仓体，第一光阑，第二光阑，装调激光模块，工作光源。本发明的优点在于：1、无复杂光路和电路，结构简单、使用方便；2、适用波长范围宽，无波长限制；3、光束对准精度高；4、对准过程不改变入射光功率，不会引入杂散光，不影响后续光功率测量等测试精度。