一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用的工艺

摘要

本发明涉及资源回收利用领域，公开了一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用的工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1将废蚀刻液置于反应装置中，使废蚀刻液中磷酸浓度为62‑65wt.％，将金属沉淀物和机械杂质排出，余下的为废蚀刻滤液；S2废蚀刻滤液进入汽提塔，在汽提塔内的底部通入蒸汽，从汽提塔的塔顶采集提取液1，从汽提塔的塔底采集提取液2；S3从提取液1中分离出混酸，提取液1的剩余部分回流至汽提塔；S4从提取液2中分离出磷酸溶液进入刮板式薄膜蒸发器，提取液2的剩余部分回流至汽提塔；S5刮板式薄膜蒸发器顶部的气相回流至反应装置，从刮板式薄膜蒸发器底部采集磷酸。本工艺可将废蚀刻液回收处理得到较高纯度的磷酸，实现了资源化利用。