一种适用复杂和易损结构的二氧化锡薄膜的空心阴极离子镀方法

摘要

本发明公开了一种适用复杂和易损结构的二氧化锡薄膜的空心阴极离子镀方法，该方法以固体二氧化锡颗粒作为原料，利用等离子体发生器发出的氩气流经过磁场偏转打二氧化锡颗粒表面，使其升华并沉积到基底上。本发明方案无需任何溶剂或者掺杂材料，就可以在硅片或玻璃衬底沉积平整致密、透光优异的二氧化锡薄膜，在可见光区域内的平均透过率接近90%。本方法制备工艺简单、时间短，能够实现大面积规模化制备，在光电探测器、太阳能电池等领域都有良好的应用前景。