操作粒子束装置的方法、计算机程序产品和粒子束装置

摘要

本发明涉及一种用于操作粒子束装置以对物体进行成像和/或分析的方法、一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。该方法包括：生成粒子束；将该粒子束聚焦到该物体的扫描区域上，其中，该扫描区域被实施为第一区；使该粒子束在该物体上的扫描场之上扫描，其中，在扫描设备最大偏转的情况下，该扫描场被实施为第二区，其中，该扫描区域的第一区和该扫描场的第二区具有第一重叠区域，并且其中，该扫描场的第二区具有与该扫描区域的第一区不重叠的第二区域；以及利用仅由于源自该第一重叠区域的第一相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号生成图像和/或执行分析。

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于操作粒子束装置以对物体进行成像和/或分析的方法、一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。

背景技术

电子束装置、尤其是扫描电子显微镜(下文又称为SEM)和/或透射电子显微镜(下文又称为TEM)，用于检查物体(样本)以获得关于在某些条件下的特性和行为的了解。

在SEM中，通过束发生器来生成电子束(下文又称为一次电子束)，并通过束引导系统将电子束聚焦到要检查的物体上。通过呈扫描设备形式的偏转设备以扫描方式来将一次电子束引导在要检查的物体的表面之上。在此，一次电子束的电子与要检查的物体相互作用。作为相互作用的结果，具体地，电子是由物体发射的(所谓的二次电子)并且一次电子束的电子是反向散射的(所谓的反向散射电子)。二次电子和反向散射电子被检测并用于图像生成。如此获得了要检查的物体的图像表示。

在TEM的情况下，同样通过束发生器来生成一次电子束，并且通过束引导系统将一次电子束聚焦到要检查的物体上。一次电子束穿过要检查的物体。当一次电子束穿过要检查的物体时，一次电子束的电子与要检查的物体的材料相互作用。通过由物镜和投影单元组成的系统将穿过要检查的物体的电子成像到荧光屏或检测器(例如相机)上。在此，成像还可以在TEM的扫描模式下进行。通常，这种TEM被称为STEM。此外，可以通过另外的检测器来检测要检查的物体处的反向散射电子和/或由要检查的物体发射的二次电子，以便对要检查的物体进行成像。

此外，从现有技术中已知使用组合装置用于检查物体，其中，电子和离子两者都可以被引导至要检查的物体上。举例来说，已知使SEM另外配备有离子束柱。布置在离子束柱中的离子束发生器生成用于制备物体(例如去除物体的材料或向物体施加材料)或用于成像的离子。为此目的，通过呈扫描设备形式的偏转设备使离子在物体之上扫描。SEM在此特别地用于观察制备，而且还用于对经制备或未经制备的物体进行进一步检查。

已知的是，由于物镜的技术配置和由于扫描设备的技术配置，特别是出于以下原因，要成像的并且要用粒子束扫描的物体的区域受到限制。

首先，已知的是，在上述粒子束装置的情况下，使用圆形透镜作为物镜，所述透镜将粒子束聚焦到物体上，其方式使得物体的圆形区域被成像。所述圆形区域基本上是圆形扫描区域。如果物体的位于前述圆形扫描区域外部的区域被成像，则在物体的这些区域的成像期间会发生不期望的大图像像差。

其次，上述扫描设备通常包括用于在x方向上偏转的第一偏转设备和用于在y方向上偏转的第二偏转设备。第一偏转设备由第一偏转放大器单元以第一电压或第一电流驱动。第二偏转设备由第二偏转放大器单元以第二电压或第二电流驱动。扫描设备可以将粒子束引导到其上的物体的所述区域在上文并且也在下文被称为扫描场。第一偏转设备和第二偏转设备由于其电子设计可以提供振幅在最大振幅之内的电压或电流。所述最大振幅使第一偏转设备和第二偏转设备能够最大地偏转粒子束。因此，当馈送具有最大振幅的电压或电流时，获得最大扫描场。通常，最大扫描场具有正方形或矩形形状。然而，还已知最大扫描场，其通过包括静电多极单元的偏转设备提供大致圆形的最大扫描场。然而，通常选择最大扫描场的正方形或矩形形状，以在监测器或纸张上更容易地表示物体的图像。

如上文关于物镜所提到的，在对物体的被布置在圆形最大扫描区域外部的区域进行成像期间，发生了不期望的大图像像差。为了避免这些图像像差，已知的是选择扫描设备的最大扫描场，其方式使得该最大扫描场完全容纳在最大圆形扫描区域中。这在图1中进行了展示。由扫描设备控制的最大扫描场602完全容纳在由物镜控制的最大圆形扫描区域601中。在生成图像和/或分析物体时，已知的现有技术仅使用检测信号，这些检测信号是由于检测通过粒子束与物体的位于最大扫描场602的区域的相互作用而生成的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的。即使物体的位于最大圆形扫描区域601的在图1中带阴影区域中的区域的图像和/或分析展现了很少的像差，最大圆形扫描区域601的带阴影的区域也不用于生成物体的图像和/或分析物体。因此，有关物体的信息会丢失。

为了避免上述问题，可以确定扫描设备的偏转放大器单元的尺寸，其方式使得有可能获得完全涵盖最大圆形扫描区域601的更大的最大扫描场602A(在图1中用虚线展示)。然后将在没有相对较大的像差的情况下完全成像和/或分析物体在最大圆形扫描区域601中的区域。然而，以展现了像差的方式来表示或分析物体的位于最大圆形扫描区域601外部的区域。如果最大圆形扫描区域601的尺寸和位置未知，则不知道所表示的图像或所表示的分析中的物体的哪些区域展示或不展示像差。这是不期望的。

关于现有技术，以示例的方式参考US 8,304,750 A1。

发明内容

因此，本发明基于以下目的，即，指定一种用于操作用于对物体进行成像和/或分析的粒子束装置的方法、一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置，利用该方法，物体的位于最大扫描区域中的区域能够被成像或能够被可靠地分析。

根据本发明，这个目的通过具有下文所述的特征的方法实现。下文给出了一种包括控制用于执行该方法的粒子束设备的程序代码的计算机程序产品。此外，下文给出了一种用于生成图像和/或用于分析物体的粒子束装置。本发明的另外特征从下文的描述、所附权利要求和/或附图中变得清楚。

根据本发明的方法被设计用于操作用于对物体进行成像(也就是说，用于生成图像)和/或分析的粒子束装置。根据本发明的粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。根据本发明的粒子束装置特别用于对物体进行成像、处理和/或分析。

在根据本发明的方法中，提供了通过至少一个束发生器生成包括带电粒子的粒子束。为此目的，该粒子束装置包括用于生成包括带电粒子的粒子束的至少一个束发生器。前述粒子在后文也被称为一次粒子。举例来说，一次粒子是电子或离子。

此外，在根据本发明的方法中，提供了通过至少一个物镜将粒子束聚焦到物体上的扫描区域上。为此目的，粒子束装置包括用于将粒子束聚集到物体上的至少一个物镜。由于物镜的光学实施例，扫描区域被实施为第一区。第一区可以具有任何形状。例如，如果物镜被实施为圆形透镜，则上述扫描区域同样被实施为圆形。然而，应明确指出的是，本发明不限于第一区的圆形形状。而是，在根据本发明的方法中可使用第一区的适合于本发明的任何形状。扫描区域的第一区的最大大小和形状例如取决于粒子束装置的经调整的放大率。这将在下文进一步更详细地讨论。

此外，在根据本发明的方法中，提供了通过至少一个扫描设备使粒子束在物体的扫描场之上扫描。扫描设备可以将粒子束引导到其上的物体的所述区域在上文并且也在下文被称为扫描场。举例来说，扫描设备包括用于使粒子束在x方向上偏转的第一偏转设备和用于使粒子束在y方向上偏转的第二偏转设备。第一偏转设备例如由第一偏转放大器单元以第一电压驱动。第二偏转设备例如由第二偏转放大器单元以第二电压驱动。第一偏转设备和第二偏转设备由于其电子设计可以提供例如高达电压的最大振幅的电压。具有最大振幅的电压使第一偏转设备和第二偏转设备能够最大地偏转粒子束。因此，当馈送具有最大振幅的电压时，获得最大扫描场。举例来说，最大扫描场具有正方形或矩形形状。在另外的实施例中，第一偏转设备例如由第一偏转放大器单元以第一电流驱动。第二偏转设备例如由第二偏转放大器单元以第二电流驱动。第一偏转设备和第二偏转设备由于其电子设计可以提供例如高达电流的最大振幅的电流。具有最大振幅的电流使第一偏转设备和第二偏转设备能够最大地偏转粒子束。因此，当馈送具有最大振幅的电流时，获得最大扫描场。举例来说，最大扫描场具有正方形或矩形形状。

在根据本发明的方法中，提供了在由扫描设备使粒子束最大偏转的情况下，将扫描场实施为第二区。扫描区域的第一区和扫描场的第二区具有第一重叠区域。换句话说，扫描区域的第一区和扫描场的第二区具有公共区域，即第一重叠区域。又换句话说，第一重叠区域是扫描区域的第一区和扫描场的第二区共同的区域。扫描场的第二区的不与扫描区域的第一区重叠的所述区域在后文也被称为扫描场的第二区的第二非重叠区域。

根据本发明的方法还涉及通过至少一个检测器来检测相互作用粒子和/或相互作用辐射。当粒子束被馈送到物体时，粒子束与物体的相互作用发生。相互作用粒子和/或相互作用辐射在过程中产生。相互作用粒子例如是二次粒子(特别是二次电子)和/或反向散射粒子(例如反向散射电子)。举例来说，相互作用辐射是x射线辐射或阴极发光光线。

此外，根据本发明的方法涉及通过检测器生成检测信号，其中，由于检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成检测信号。

在根据本发明的方法中，还提供了生成物体的图像和/或对物体进行分析，其中，为此目的，使用仅由于源自第一重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。因此，为了生成图像和/或分析物体，仅使用由于粒子束与物体的包括扫描区域的第一区的第一重叠区域和扫描场的第二区的区域的相互作用而生成的检测信号。在生成物体的图像时和/或在分析物体时，由于源自扫描场的第二区的第二非重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号不会被使用、被掩蔽在物体的图像之外和/或被掩蔽在显示的对物体的分析之外。

此外，在根据本发明的方法中，提供了在显示设备(例如粒子束装置的显示设备)上显示物体的图像和/或分析的结果。

根据本发明的另外的方法同样被设计用于操作用于对物体进行成像(也就是说，用于生成图像)和/或分析的粒子束装置。根据本发明的粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。根据本发明的粒子束装置特别用于对物体进行成像、处理和/或分析。

在根据本发明的另外的方法中，还提供了通过至少一个束发生器生成包括带电粒子的粒子束。为此目的，该粒子束装置包括用于生成包括带电粒子的粒子束的至少一个束发生器。前述粒子在后文也被称为一次粒子。举例来说，一次粒子是电子或离子。

此外，在根据本发明的另外的方法中，提供了确定该物体上的扫描区域，其中，由于物镜的光学实施例，该扫描区域被实施为第一区，并且其中，利用该粒子束该扫描区域能够被成像和/或能够被分析。第一区可以具有任何形状。例如，如果物镜被实施为圆形透镜，则上述扫描区域同样被实施为圆形。然而，应明确指出的是，本发明不限于第一区的圆形形状。而是，在根据本发明的方法中可使用第一区的适合于本发明的任何形状。扫描区域的第一区的最大大小和形状例如取决于粒子束装置的经调整的放大率。这将在下文进一步更详细地讨论。

此外，在根据本发明的另外的方法中，提供了确定该物体的通过扫描设备生成的扫描场，其中，在该扫描设备最大偏转的情况下，该扫描场被实施为第二区。例如如上文已经进一步解释的那样实施扫描设备。举例来说，最大扫描场具有正方形或矩形形状。

在根据本发明的另外的方法中，提供了在由扫描设备使粒子束最大偏转的情况下，将扫描场实施为第二区。扫描区域的第一区和扫描场的第二区具有第一重叠区域。换句话说，扫描区域的第一区和扫描场的第二区具有公共区域，即第一重叠区域。又换句话说，第一重叠区域是扫描区域的第一区和扫描场的第二区共同的区域。扫描场的第二区的不与扫描区域的第一区重叠的所述区域在后文也被称为扫描场的第二区的第二非重叠区域。

此外，根据本发明的另外的方法包括仅将粒子束聚焦到第一重叠区域上。仅使粒子束在第一重叠区域之上扫描。

根据本发明的另外的方法还涉及通过至少一个检测器来检测相互作用粒子和/或相互作用辐射。当粒子束被馈送到第一重叠区域时，粒子束与物体的布置在第一重叠区域处的所述部分发生相互作用。相互作用粒子和/或相互作用辐射在过程中产生。相互作用粒子例如是二次粒子(特别是二次电子)和/或反向散射粒子(例如反向散射电子)。举例来说，相互作用辐射是x射线辐射或阴极发光光线。

此外，根据本发明的另外的方法涉及通过检测器生成检测信号，其中，由于检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成检测信号。在根据本发明的另外的方法中，还提供了生成物体的图像和/或对物体进行分析，其中，为此目的，使用由于源自第一重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。

此外，在根据本发明的另外的方法中，提供了在显示设备(例如粒子束装置的显示设备)上显示物体的图像。

根据本发明的甚至另外的方法同样被设计用于操作用于对物体进行成像(也就是说，用于生成图像)和/或分析的粒子束装置。根据本发明的粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。根据本发明的粒子束装置特别用于对物体进行成像、处理和/或分析。

在根据本发明的甚至另外的方法中，提供了通过至少一个束发生器生成包括带电粒子的粒子束。为此目的，该粒子束装置包括用于生成包括带电粒子的粒子束的至少一个束发生器。前述粒子在后文也被称为一次粒子。举例来说，一次粒子是电子或离子。

此外，在根据本发明的甚至另外的方法中，提供了通过至少一个物镜将粒子束聚焦到物体上的扫描区域上。为此目的，粒子束装置包括用于将粒子束聚集到物体上的至少一个物镜。由于物镜的光学实施例，扫描区域被实施为第一区。第一区可以具有任何形状。例如，如果物镜被实施为圆形透镜，则上述扫描区域同样被实施为圆形。然而，应明确指出的是，本发明不限于第一区的圆形形状。而是，在根据本发明的方法中可使用第一区的适合于本发明的任何形状。扫描区域的第一区的最大大小和形状例如取决于粒子束装置的经调整的放大率。这将在下文进一步更详细地讨论。

此外，在根据本发明的甚至另外的方法中，提供了通过至少一个扫描设备使粒子束在物体的扫描场之上扫描。举例来说，扫描设备包括用于使粒子束在x方向上偏转的第一偏转设备和用于使粒子束在y方向上偏转的第二偏转设备。关于扫描设备的实施例，参考上文进一步的观察，这些观察也适用于此。

在根据本发明的甚至另外的方法中，提供了在由扫描设备使粒子束最大偏转的情况下，将扫描场实施为第二区。扫描区域的第一区和扫描场的第二区具有第一重叠区域。换句话说，扫描区域的第一区和扫描场的第二区具有公共区域，即第一重叠区域。又换句话说，第一重叠区域是扫描区域的第一区和扫描场的第二区共同的区域。扫描场的第二区的不与扫描区域的第一区重叠的所述区域在后文也被称为扫描场的第二区的第二非重叠区域。

根据本发明的甚至另外的方法还涉及通过至少一个检测器来检测相互作用粒子和/或相互作用辐射。当粒子束被馈送到物体时，粒子束与物体的相互作用发生。相互作用粒子和/或相互作用辐射在过程中产生。相互作用粒子例如是二次粒子(特别是二次电子)和/或反向散射粒子(例如反向散射电子)。举例来说，相互作用辐射是x射线辐射或阴极发光光线。

此外，根据本发明的甚至另外的方法涉及通过检测器生成检测信号，其中，由于检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成检测信号。

根据本发明的甚至另外的方法涉及利用检测信号生成物体的第一图像，这些检测信号由于源自该第一重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成。此外，根据本发明的甚至另外的方法涉及利用检测信号生成物体的第二图像，这些检测信号由于源自扫描场的第二区的第二非重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成。

此外，在根据本发明的甚至另外的方法中，用第一标识符标识物体的第一图像和/或用第二标识符标识物体的第二图像。此外，物体的用第一标识符标识的第一图像和/或用第二标识符标识的第二图像在显示设备(例如粒子束装置的显示设备)上显示。

具体地，提供了使用沿重叠区域的外边界延伸的至少一条第一分离线(例如环形线)作为第一标识符。另外地或作为其替代方案，提供了使用至少一种第一颜色作为第一标识符。在另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了使用沿非重叠区域的外边界延伸的至少一条第二分离线(例如环形线)作为第二标识符。另外或替代性地，提供了使用至少一种第二颜色或第二图像的可调整对比度作为第二标识符。

下文讨论根据本发明的方法、根据本发明的另外的方法以及根据本发明的甚至另外的方法的优点和实施例。当在下文中参考所有方法时，这些方法在下文中被称为根据本发明的方法。

根据本发明的方法的优点在于，在生成图像时和/或在执行对物体的分析时，物体的仅可以利用非常明显的像差进行成像和/或分析的那些区域不被考虑或以使得这些区域可容易地被用户识别的方式进行标识。通过根据本发明的方法，在成像之后对物体的成像和/或分析仅展现了很小的像差的那些区域进行成像和/或分析或考虑。

在根据本发明的方法的一个实施例中，另外地或替代性地，提供了对该扫描区域的该第一区和该扫描场的该第二区进行定向，其方式使得该扫描区域的该第一区完全布置在该扫描场的该第二区中。换句话说，扫描场的第二区完全涵盖扫描区域的第一区。又换句话说，扫描区域的第一区完全位于扫描场的第二区中。

在根据本发明的方法的另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了选择扫描区域的第一区，其方式使得该第一区具有第一形状。此外，另外地或替代性地，提供了选择该扫描场的该第二区，其方式使得该第二区具有第二形状，其中，该第一形状不同于该第二形状。举例来说，提供了选择该扫描区域的该第一区，其方式使得该第一区被实施为圆形。另外或作为其替代方案，提供了选择该扫描场的该第二区，其方式使得该第二区被实施为多边形。举例来说，扫描场的第二区被实施为正方形或矩形。然而，应明确指出的是，本发明不限于第一区的圆形形状和/或第二区的多边形形状。而是，在根据本发明的方法中可使用第一区和/或第二区的适合于本发明的任何形状。

在根据本发明的方法的又另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了将掩模布置在扫描场的第二区的第二非重叠区域之上。掩模具有以下作用：在生成物体的图像时和/或在分析物体时，使用利用源自扫描场的第二区的第二非重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射生成的检测信号。例如，如果此物理掩模旨在具有的尺寸是可生产的，则该掩模可以是物理掩模。在根据本发明的方法的另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了将掩模被实施为电子掩模。例如，通过图像处理和/或数据处理来生成电子掩模。举例来说，提供的是，通过图像处理和/或数据处理，在生成物体的图像时和/或在分析物体时，将由于源自扫描场的第二区的第二非重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号掩蔽出去，并且因此不会在物体的图像中和/或在显示物体的分析结果时同时显示。如果由于尺寸过小而不能容易地产生物理掩模，则电子掩模特别有利。在根据本发明的方法的一个实施例中，另外地或替代性地，提供了使掩模覆盖并掩蔽扫描场的第二区的第二非重叠区域。举例来说，提供了使掩模完全覆盖并掩蔽扫描场的第二区的第二非重叠区域。

在根据本发明的方法的一个实施例中，另外地或替代行地，提供了选择该扫描区域的该第一区和该扫描场的该第二区，其方式使得该第一区和该第二区具有边界区域。在边界区域处，扫描区域的第一区邻接扫描场的第二区的第二非重叠区域。为了规定哪些检测信号用于生成物体的图像和/或用于分析物体，在根据本发明的方法的此实施例中使用至少一条直线。该直线例如是虚拟直线，在图像处理和/或数据处理中使用该虚拟直线以标识在生成物体的图像时和/或在分析物体时，物体的旨在考虑的或旨在不考虑的区域。具体地，提供了将直线沿边界区域定向，其中该直线的第一侧朝向扫描区域的第一区，并且其中该直线的第二侧朝向扫描场的第二区的第二非重叠区域。在这里描述的根据本发明的方法的实施例中，提供了在生成物体的图像时和/或在分析物体时，不使用源自物体的在直线的第二侧上的区域的检测信号。换句话说，在生成物体的图像时和/或在分析物体时，

不使用利用源自扫描场的第二区的第二非重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号，所述第二区域被布置在直线的第二侧上。扫描场的第二区的不与扫描区域的第一区重叠的所述部分被布置在物体的布置在直线的第二侧上的所述区域中。相比之下，在生成物体的图像时和/或在分析物体时，使用利用源自布置在直线的第一侧上的区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。此区域至少包括扫描区域的第一区。

在根据本发明的方法的又另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了在调整粒子束装置的放大率期间和/或之后执行上文提到的方法步骤。换句话说，例如在调整粒子束装置的放大率时或者在已经调整粒子束装置的放大率之后，执行上文提到的和/或下文进一步提到的方法步骤。举例来说，粒子束装置的放大率从小放大率(1∶1000)改变为大放大率(例如，1∶500.000)。这是通过减小扫描设备中电压和/或电流的振幅来实现的。在根据本发明的方法的一个实施例中，另外地或替代性地，提供了连续调整放大率，其中，上文提到和/或下文进一步提到的方法步骤也连续执行。在根据本发明的方法的又另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了以离散步骤调整放大率，其中，上文提到或下文进一步提到的方法步骤也以离散步骤执行。例如，如果使用上文提到掩模，则在调整放大率期间，掩模的大小也根据调整后的放大率而变化。

在根据本发明的方法的一个实施例中，另外地或替代性地，提供了通过至少一个信号设备向粒子束装置的用户指示方法的执行。举例来说，信号设备是粒子束装置的显示设备上的指示灯和/或显示器。因此，例如通知用户：在生成物体的图像时和/或在分析物体时，使用由于源自第一重叠区域的检测到的相互作用粒子或相互作用辐射而生成的检测信号，而在生成物体的图像时和/或在分析物体时，不使用由于源自扫描场的第二区的第二非重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。

在根据本发明的方法的另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了上述图像是第一图像，并且上述分析是第一分析。在根据本发明的方法的此另外的实施例中，现在提供了利用检测信号生成物体的第二图像和/或执行对物体的第二分析。在这种情况下，使用由于粒子束与来自完整扫描场的物体的相互作用而生成的那些检测信号。因此，在此实施例中，使用利用源自第一重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。另外，在此实施例中，使用利用源自扫描场的第二区的第二非重叠区域的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。此外，第一图像和/或第二图像被存储在存储单元中。另外地或替代性地，提供了将第一分析和/或第二分析存储在存储单元中。第一图像和第一分析因此基于来自第一重叠区域的相互作用。相比之下，第二图像和第二分析基于来自完整扫描场的相互作用。

在根据本发明的方法的甚至另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了通过扫描设备使扫描场在物体上移位。如果例如在根据本发明的方法的此甚至另外的实施例中使用上文提到的掩模，则该掩模与扫描场一起被移位，使得仍然总是以下的情况：仅将源自物体的展现了很少像差的区域的检测信号用于生成物体的图像和/或用于分析物体。可以例如通过在扫描设备的偏转放大器单元的输出级处的电压偏移(例如通过将用于移位的DC电压信号和用于扫描的AC电压信号相加)来实现扫描场的这种移位。扫描场的第二区可以具有例如600μm×600μm的大小。例如，如上文描述的，通过电压偏移使扫描场的移位为±15μm。关于根据本发明的方法，在这种情况下，选择掩模的方式可以为使得其同时覆盖扫描场的第二区的区域，该区域可通过扫描场的移位而被粒子束到达，并且因此该区域未在物体的生成图像中表示和/或未在物体的分析中考虑。作为其替代方案，在生成物体的图像时和/或在分析物体时，可以使用扫描区域的第一区的粒子束通过扫描场的移位可到达的区域。

本发明还涉及一种计算机程序产品，该计算机程序产品包括可加载或加载到粒子束装置的处理器中的程序代码，其中，当在处理器中执行该程序代码时，该程序代码控制粒子束装置，其方式使得执行具有前述或以下特征中的至少一个或具有前述或以下特征中的至少两个的组合的方法。

本发明还涉及一种用于对物体进行成像和/或分析的粒子束装置。根据本发明的粒子束装置包括用于生成包括带电粒子的粒子束的至少一个束发生器。带电粒子例如是电子或离子。根据本发明的粒子束装置包括用于将粒子束聚焦到物体上的至少一个物镜。此外，根据本发明的粒子束装置包括用于使粒子束在物体之上扫描的至少一个扫描设备。进一步，根据本发明的粒子束装置包括用于检测相互作用粒子和/或相互作用辐射的至少一个检测器，相互作用粒子和/或相互作用辐射是在粒子束入射在物体上时从粒子束与物体之间的相互作用出射的。此外，根据本发明的粒子束装置设有用于显示图像和/或物体的分析结果的至少一个显示设备。此外，根据本发明的粒子束装置包括控制单元，该控制单元包括处理器，在该处理器中加载具有前述或以下特征中的至少一个或具有前述或以下特征中的至少两个的组合的计算机程序产品。

在根据本发明的粒子束装置的一个实施例中，束发生器被实施为第一束发生器，并且粒子束被实施为包括第一带电粒子的第一粒子束。进一步，物镜被实施为用于将第一粒子束聚焦到物体上的第一物镜。此外，根据本发明的粒子束装置包括用于生成包括第二带电粒子的第二粒子束的至少一个第二束发生器。进一步，根据本发明的粒子束装置包括用于将第二粒子束聚焦到物体上的至少一个第二物镜。

具体地，提供了将粒子束装置实施为电子束装置和/或离子束装置。

附图说明

下文联合附图描述本发明的另外的实际实施例和优点。在附图中：

图1示出了根据现有技术的扫描区域和扫描场的示意性图示；

图2示出了粒子束装置的示意性图示；

图3示出了另外的粒子束装置的示意性图示；

图4示出了甚至另外的粒子束装置的示意性图示；

图5示出了粒子束装置的扫描设备的示意性图示；

图6示出了根据本发明的方法的一个实施例的流程图；

图7示出了根据本发明的扫描区域和扫描场的示意性图示；

图8示出了根据本发明的扫描区域和扫描场的示意性图示，其中通过直线来限定成像区域；

图9示出了根据本发明的方法的另外的实施例的流程图；

图10示出了根据本发明的方法的甚至另外的实施例的流程图；

图11示出了扫描区域和扫描场的另外的示意性图示；

图12示出了扫描区域和扫描场的甚至另外的示意性图示；

图13示出了扫描区域和扫描场的又一另外的示意性图示；

图14示出了扫描区域和扫描场的另外的示意性图示；

图15示出了根据本发明的方法的又一另外的实施例的流程图；以及

图16示出了根据本发明的方法的另外的实施例的流程图。

具体实施方式

现在通过呈SEM形式和组合装置形式的粒子束装置更详细地解释本发明，该组合装置具有电子束柱和离子束柱。明确地提及以下事实：本发明可以用在任何粒子束装置中，特别是任何电子束装置和/或任何离子束装置中。

图2示出了SEM 100的示意性图示。SEM 100包括呈电子源101的形式的第一束发生器，该电子源被实施为阴极。进一步，SEM 100设有引出电极102和阳极103，该阳极放置到SEM 100的束引导管104的一端上。举例来说，电子源101被实施为热场发射器。然而，本发明不限于这种电子源101。而是，可利用任何电子源。

从电子源101出射的电子形成了一次电子束。这些电子由于电子源101与阳极103之间的电势差而被加速到阳极电势。在这里所示的实施例中，阳极电势相对于样本室120的壳体的接地电势为100 V至35kV，例如5kV至15kV、特别是8kV。然而，替代性地，阳极电势还可以处于接地电势。

在束引导管104上布置有两个聚束透镜，特别是第一聚束透镜105和第二聚束透镜106。在此，在第一物镜107的方向上看从电子源101开始，第一聚束透镜105布置在前，接着是第二聚束透镜106。明确地提及以下事实：SEM 100的另外的实施例可以仅具有单个聚束透镜。第一光阑单元108被布置在阳极103与第一聚束透镜105之间。与阳极103和束引导管104一起，第一光阑单元108处于高电压电势(具体是阳极103的电势)，或者连接到接地。第一光阑单元108具有多个第一光圈108A，在图2中展示了其中的一个。举例来说，存在两个第一光圈108A。这许多第一光圈108A中的每一个具有不同的光圈直径。通过调整机构(未展示)，可以将期望的第一光圈108A设置在SEM 100的光轴OA上。明确地提及以下事实：在另外的实施例中，第一光阑单元108可以仅设有单个第一光圈108A。在此实施例中，可能不存在调整机构。然后将第一光阑单元108设计为固定的。固定的第二光阑单元109被布置在第一聚束透镜105与第二聚束透镜106之间。作为其替代方案，提供了以可移动的方式实施第二光阑单元109。

第一物镜107具有极靴110，这些极靴中形成有孔。束引导管104被引导穿过此孔。线圈111被布置在极靴110中。

静电延迟设备被布置在束引导管104的下部区域中。这包括单独的电极112和管状电极113。管状电极113布置在束引导管104的一端，所述端面向布置在以可移动的方式实施的物体固持器114上的物体125。

管状电极113与束引导管104一起处于阳极103的电势，而单独的电极112和物体125相对于阳极103的电势处于较低电势。在当前情况下，这是样本室120的壳体的接地电势。以此方式，一次电子束的电子可以被减速到为了检查物体125所需的期望能量。

SEM 100进一步包括扫描设备115，通过该扫描设备，一次电子束可以被偏转并在物体125之上扫描。在此，一次电子束的电子与物体125相互作用。由于该相互作用，产生了相互作用粒子，这些相互作用粒子被检测到。具体地，从物体125的表面发射电子(所谓的二次电子)，或一次电子束的电子作为相互作用粒子被反向散射(所谓的反向散射电子)。

物体125和单独的电极112也可以处于不同的电势和不同于接地的电势。由此可以设定一次电子束相对于物体125的延迟的位置。举例来说，如果延迟在非常接近物体125的位置发生，则成像像差变小。

包括第一检测器116和第二检测器117的检测器布置被布置在束引导管104中，用于检测二次电子和/或反向散射电子。在此，在束引导管104中，第一检测器116沿光轴OA布置在源侧，而第二检测器117沿光轴OA布置在物体侧。第一检测器116和第二检测器117布置成在SEM 100的光轴OA的方向上彼此偏离。第一检测器116和第二检测器117两者都具有相应的通道开口，一次电子束可以穿过该通道开口。第一检测器116和第二检测器117大约处于阳极103和束引导管104的电势。SEM 100的光轴OA延伸穿过相应的通道开口。

第二检测器117主要用于检测二次电子。在从物体125出射时，二次电子最初具有低动能和随机运动方向。通过从管状电极113发出的强引出场，二次电子朝第一物镜107的方向被加速。二次电子大约平行地进入第一物镜107。二次电子束的束直径在第一物镜107中也保持得较小。第一物镜107然后对二次电子具有强的作用，并且生成二次电子相对于光轴OA以足够陡的角度的相对短的聚焦，使得二次电子在焦点的下游彼此远离地发散开并且在其有效区上撞击第二检测器117。相比之下，第二检测器117仅检测到在物体125处反向散射的电子的一小部分，即，与从物体125出射的二次电子相比具有相对高的动能的反向散射电子。反向散射电子在从物体125出射时的高动能和相对于光轴OA的角度具有的作用是，反向散射电子的束腰(即，具有最小直径的束区域)位于第二检测器117附近。大部分反向散射电子穿过第二检测器117的通道开口。因此，第一检测器116基本上用于检测反向散射电子。

在SEM 100的另外的实施例中，第一检测器116可以另外被实施为具有相反场光栅116A。相反场光栅116A被布置在第一检测器116的朝向物体125的一侧。相对于束引导管104的电势，相反场光栅116A具有负电势，使得仅具有高能量的反向散射电子穿过相反场光栅116A到达第一检测器116。另外地或替代性地，第二检测器117具有另外的相反场光栅，该另外的相反场光栅具有与第一检测器116的前述相反场光栅116A类似的实施例并且具有类似功能。

进一步，SEM 100在样本室120中具有室检测器119，例如Everhart-Thornley(埃弗哈特索恩利)检测器或离子检测器，其具有涂覆有金属并且阻挡光的检测表面。

由第一检测器116、第二检测器117和室检测器119生成的检测信号用于生成物体125的表面的一个或多个图像。

明确地提及以下事实：以夸大的方式展示了第一光阑单元108和第二光阑单元109的光圈以及第一检测器116和第二检测器117的通道开口。第一检测器116和第二检测器117的通道开口具有垂直于光轴OA在0.5mm至5mm的范围内的延伸。举例来说，这些通道开口具有环形设计，并且直径在1mm至3mm的范围内、垂直于光轴OA。

第二光阑单元109在这里展示的实施例中被配置为针孔光阑，并且设有用于让一次电子束通过的第二光圈118，该第二光圈具有在5μm至500μm的范围内、例如35μm的延伸。作为其替代方案，在另外的实施例中提供的是，第二光阑单元109设有多个光圈，这些光圈可以相对于一次电子束机械地移位或者可以通过使用电和/或磁偏转元件而被一次电子束到达。第二光阑单元109被实施为压力载台光阑。这将第一区域与第二区域分开，在该第一区域中布置有电子源101并且存在超高真空(10

样本室120处于真空。为了产生真空，在样本室120处布置有泵(未展示)。在图2所示的实施例中，样本室120在第一压力范围内或在第二压力范围内操作。第一压力范围仅包括小于或等于10

物体固持器114布置在样本载台122处。样本载台122被实施为在相互垂直布置的三个方向上可移动，具体是x方向(第一载台轴线)、y方向(第二载台轴线)和z方向(第三载台轴线)。此外，样本载台122可以绕彼此垂直布置的两条旋转轴线旋转(载台旋转轴线)。本发明不局限于上文描述的样本载台122。而是，样品载台122可以具有样本载台122可以沿着或围绕其移动的另外的平移轴线和旋转轴线。

SEM 100进一步包括布置在样本室120中的第三检测器121。更精确地，第三检测器121被布置在样本载台122的下游，如从电子源101沿光轴OA观看到的那样。样本载台122并且因此物体固持器114可以以使得一次电子束可以辐射穿过布置在物体固持器114上的物体125的方式旋转。当一次电子束穿过要检查的物体125时，一次电子束的电子与要检查的物体125的材料相互作用。第三检测器121检测穿过要检查的物体125的电子。

在样本室120处布置了辐射检测器500，该辐射检测器用于检测相互作用辐射，例如x射线辐射和/或阴极发光光线。辐射检测器500、第一检测器116、第二检测器117和室检测器119连接至控制单元123，该控制单元具有监视器124。在这里展示的实施例中，监视器124设有附加的光信号设备127，例如红色LED，和/或设有可以发出警告声音的附加的声信号设备128。第三检测器121也连接至控制单元123。为了清楚起见未展示。控制单元123处理由第一检测器116、第二检测器117、室检测器119、第三检测器121和/或辐射检测器500生成的检测信号，并且将所述检测信号以图像的形式显示在监视器124上。

控制单元123还具有数据库126，在该数据库中存储数据并且从中读取出数据。

SEM 100的控制单元123包括处理器。包括程序代码的计算机程序产品被加载到处理器中，该程序代码在被执行时执行用于操作SEM 100的方法。下文更详细地解释这点。

图3示出了呈组合装置200的形式的粒子束装置。组合装置200具有两个粒子束柱。首先，如已在图2中所展示的，组合装置200设有SEM 100，但没有样本室120。而是，SEM 100布置在样本室201中。样本室201处于真空。为了产生真空，在样本室201处布置有泵(未展示)。在图3所示的实施例中，样本室201在第一压力范围内或在第二压力范围内操作。第一压力范围仅包括小于或等于10

布置在样本室201中的是室检测器119，该室检测器例如以Everhart-Thornley检测器或离子检测器的形式实施，并且该室检测器具有涂覆有阻挡光线的金属的检测表面。进一步，第三检测器121布置在样本室201中。

SEM 100用于生成第一粒子束，具体是上文已进一步描述的一次电子束，并且具有上文已指定的光轴，该光轴在图3中用附图标记709提供，并且在下文也称为第一束轴线。其次，组合装置200设有离子束装置300，该离子束装置同样布置在样本室201处。离子束装置300同样具有光轴，该光轴在图3中用附图标记710提供，并且在下文中也称为第二束轴线。

SEM 100相对于样本室201竖直地布置。相比之下，离子束装置300以相对于SEM100倾斜大约0°至90°的角度的方式布置。在图3中以举例的方式展示了大约50°的布置。离子束装置300包括呈离子束发生器301的形式的第二束发生器。离子束发生器301生成形成呈离子束形式的第二粒子束的离子。这些离子通过处于可预定电势的引出电极302被加速。第二粒子束然后穿过离子束装置300的离子光学单元，其中离子光学单元包括聚束透镜303和第二物镜304。第二物镜304最终生成离子探针，该离子探针聚焦到布置在物体固持器114上的物体125上。物体固持器114布置在样本载台122处。

可调整或可选择光阑306、第一电极布置307和第二电极布置308被布置在第二物镜304上方(即，在离子束发生器301的方向上)，其中第一电极布置307和第二电极布置308被实施为扫描电极。通过第一电极布置307和第二电极布置308在物体125的表面上扫描第二粒子束，其中第一电极布置307沿第一方向起作用并且第二电极布置308沿第二方向起作用，第二方向与第一方向相反。因此，例如在x方向上执行扫描。在与之垂直的y方向上的扫描是通过在第一电极布置307和第二电极布置308处的旋转了90°的另外的电极(未展示)引起的。

如上文所解释的，物体固持器114布置在样本载台122处。在图3所示的实施例中，样本载台122也被实施为在相互垂直布置的三个方向上可移动，具体是x方向(第一载台轴线)、y方向(第二载台轴线)和z方向(第三载台轴线)。此外，样本载台122可以绕彼此垂直布置的两条旋转轴线旋转(载台旋转轴线)。

为了更好地展示组合装置200的单独的单元，图3中所展示的组合装置200的单独的单元之间的距离以夸大的方式展示。

在样本室201处布置了辐射检测器500，该辐射检测器用于检测相互作用辐射，例如x射线辐射和/或阴极发光光线。辐射检测器500连接至控制单元123，该控制单元具有监视器124。在这里展示的实施例中，监视器124设有附加的光信号设备127，例如红色LED，和/或设有可以发出警告声音的附加的声信号设备128。

控制单元123处理由第一检测器116、第二检测器117(图2中未展示)、室检测器119、第三检测器121和/或辐射检测器500生成的检测信号，并且将所述检测信号以图像的形式显示在监视器124上。

控制单元123还具有数据库126，在该数据库中存储数据并且从中读取出数据。

组合装置200的控制单元123包括处理器。包括程序代码的计算机程序产品被加载到处理器中，该程序代码在被执行时执行用于操作组合装置200的方法。下文更详细地解释这点。

图4是根据本发明的粒子束装置的另外实施例的示意性图示。粒子束装置的此实施例用附图标记400来提供、并且包括用于校正例如色像差和/或球面像差的反射镜校正器。粒子束装置400包括粒子束柱401，该粒子束柱被实施为电子束柱并且基本上对应于校正后的SEM的电子束柱。然而，粒子束装置400不局限于具有反射镜校正器的SEM。而是，粒子束装置可以包括任何类型的校正器单元。

粒子束柱401包括呈电子源402(阴极)形式的粒子束发生器、引出电极403和阳极404。举例来说，电子源402被实施为热场发射器。从电子源402出射的电子由于电子源402与阳极404之间的电势差而被加速到达阳极404。因此，沿第一光轴OA1形成呈电子束形式的粒子束。

在从电子源402出射粒子束之后，该粒子束沿与第一光轴OA1对应的束路径被引导。第一静电透镜405、第二静电透镜406和第三静电透镜407用于引导粒子束。

此外，使用束导引设备沿束路径来设置粒子束。此实施例的束引导设备包括源设置单元，该源设置单元具有沿第一光轴OA1布置的两个磁偏转单元408。此外，粒子束装置400包括静电束偏转单元。第一静电束偏转单元409(在另外的实施例中也被实施为四极)布置在第二静电透镜406与第三静电透镜407之间。第一静电束偏转单元409同样布置在磁偏转单元408的下游。呈第一磁偏转单元形式的第一多极单元409A布置在第一静电束偏转单元409的一侧。此外，呈第二磁偏转单元形式的第二多极单元409B布置在第一静电束偏转单元409的另一侧。第一静电束偏转单元409、第一多极单元409A和第二多极单元409B被设置用于将粒子束相对于第三静电透镜407的轴线和束偏转设备410的入口窗口进行设置。第一静电束偏转单元409、第一多极单元409A和第二多极单元409B可以像维恩滤波器(Wienfilter)一样相互作用。另外的磁偏转元件432布置在束偏转设备410的入口处。

束偏转设备410被用作粒子束偏转器，该粒子束偏转器用于使粒子束以特定方式偏转。束偏转设备410包括多个磁扇区，具体是第一磁扇区411A、第二磁扇区411B、第三磁扇区411C、第四磁扇区411D、第五磁扇区411E、第六磁扇区411F和第七磁扇区411G。粒子束沿第一光轴OA1进入束偏转设备410，并且所述粒子束被束偏转设备410沿第二光轴OA2的方向偏转。通过第一磁扇区411A、通过第二磁扇区411B并且通过第三磁扇区411C执行了30°至120°角度的束偏转。第二光轴OA2相对于第一光轴OA1以相同角度定向。束偏转设备410也使沿第二光轴OA2被引导的粒子束精确地在第三光轴OA3的方向上偏转。该束偏转是由第三磁扇区411C、第四磁扇区411D和第五磁扇区411E提供的。在图4中的实施例中，相对于第二光轴OA2和相对于第三光轴OA3的偏转是通过使粒子束偏转90°角而提供的。因此，第三光轴OA3相对于第一光轴OA1同轴地延伸。然而，提及以下事实：此处描述的根据本发明的粒子束装置400不局限于90°的偏转角。而是，束偏转设备410可以选择任何适合的偏转角度，例如70°或110°，使得第一光轴OA1不相对于第三光轴OA3同轴地延伸。关于束偏转设备410的更多细节，请参考WO 2002/067286 A2。

在粒子束已经被第一磁扇区411A、第二磁扇区411B和第三磁扇区411C偏转之后，该粒子束沿着第二光轴OA2被引导。该粒子束被引导至静电反射镜414并且在其到静电反射镜414的路径上沿着第四静电透镜415、呈磁偏转单元形式的第三多极单元416A、第二静电束偏转单元416、第三静电束偏转单元417、和呈磁偏转单元形式的第四多极单元416B行进。静电反射镜414包括第一反射镜电极413A、第二反射镜电极413B和第三反射镜电极413C。在静电反射镜414处反射回的粒子束的电子再次沿第二光轴OA2行进并且重新进入束偏转设备410。然后，这些电子被第三磁扇区411C、第四磁扇区411D和第五磁扇区411E偏转到第三光轴OA3。

粒子束的电子从束偏转设备410出射，并且所述电子沿第三光轴OA3被引导至旨在被检查的并布置在物体固持器114中的物体425。在到物体425的路径上，粒子束被引导至第五静电透镜418、束引导管420、第五多极单元418A、第六多极单元418B和物镜421。第五静电透镜418是静电浸没透镜。通过第五静电透镜418，粒子束被减速或加速到束引导管420的电势。

通过物镜421，粒子束被聚焦到物体425所布置在的焦平面内。物体固持器114被布置在可移动样本载台424处。可移动样本载台424被布置在粒子束装置400的样本室426中。样本载台424被实施为在相互垂直布置的三个方向上可移动，具体是x方向(第一载台轴线)、y方向(第二载台轴线)和z方向(第三载台轴线)。此外，样本载台424可以绕彼此垂直布置的两条旋转轴线旋转(载台旋转轴线)。

样本室426处于真空。为了产生真空，在样本室426处布置有泵(未展示)。在图4所示的实施例中，样本室426在第一压力范围内或在第二压力范围内操作。第一压力范围仅包括小于或等于10-3hPa的压力，并且第二压力范围仅包括大于10-3hPa的压力。为了确保所述压力范围，样本室426是真空密封的。

物镜421可以被实施为磁透镜422与第六静电透镜423的组合。束引导管420的端部进一步可以是静电透镜的电极。在从束引导管420出射之后，粒子束装置的粒子被减速到物体425的电势。物镜421并不局限于磁透镜422与第六静电透镜423的组合。而是，物镜421可以采取任何合适的形式。举例来说，物镜421也可以被实施为纯磁透镜或纯静电透镜。

聚焦到物体425上的粒子束与物体425相互作用。生成了相互作用粒子。具体地，从物体425发射二次电子，或者在物体425处反向散射反向散射电子。二次电子或反向散射电子再次被加速并且沿第三光轴OA3被引导到束引导管420中。具体地，二次电子和反向散射电子的轨迹在粒子束的束路径的路线上在与粒子束相反的方向上延伸。

粒子束装置400包括第一分析检测器419，该第一分析检测器沿束路径被布置在束偏转设备410与物镜421之间。在相对于第三光轴OA3定向成大角度的方向上行进的二次电子由第一分析检测器419检测。在第一分析检测器419的定位处相对于第三光轴OA3具有小轴向距离的反向散射电子和二次电子，即在第一分析检测器419的定位处距第三光轴OA3具有小距离的反向散射电子和二次电子，进入束偏转设备410并且沿检测束路径427被第五磁扇区411E、第六磁扇区411F和第七磁扇区411G偏转到第二分析检测器428。举例来说，偏转角度为90°或110°。

第一分析检测器419生成主要由发射的二次电子生成的检测信号。由第一分析检测器419生成的检测信号被引导至控制单元123，并且被用于获得关于聚焦粒子束与物体425的相互作用区域的特性的信息。具体地，使用扫描设备429使聚焦粒子束在物体425之上扫描。通过由第一分析检测器419生成的检测信号，然后可以生成物体425的被扫描区域的图像并且将该图像显示在显示单元上。显示单元是例如布置在控制单元123处的监视器124。在这里展示的实施例中，监视器124设有附加的光信号设备127，例如红色LED，和/或设有可以发出警告声音的附加的声信号设备128。

第二分析检测器428也连接至控制单元123。第二分析检测器428的检测信号被传递给控制单元123并且被用于生成物体425的被扫描区域的图像并且将该图像显示在显示单元上。显示单元是例如布置在控制单元123处的监视器124。

在样本室426处布置了辐射检测器500，该辐射检测器用于检测相互作用辐射，例如x射线辐射和/或阴极发光光线。辐射检测器500连接至控制单元123，该控制单元具有监视器124。控制单元123处理辐射检测器500的检测信号，并且将这些检测信号以图像的形式显示在监视器124上。

控制单元123还具有数据库126，在该数据库中存储数据并且从中读取出数据。

粒子束装置400的控制单元123包括处理器。包括程序代码的计算机程序产品被加载到处理器中，该程序代码在被执行时执行用于操作粒子束装置400的方法。

下文参考根据图2的SEM 100更详细地描述本发明。关于组合装置200和关于粒子束装置400，细节上作必要的修改同样适用。

如下文所概述的，由于第一物镜107的技术配置并且由于扫描设备115的技术配置，物体125的要成像的并且由一次电子束扫描的区域受到限制。

由第一物镜107的光学配置引起对物体125的要成像并且由一次电子束扫描的区域的限制。使用第一物镜107将一次电子束聚焦到物体125上。在这种情况下，一次电子束聚焦到物体125的扫描区域上。由于第一物镜107的光学实施例，扫描区域被实施为第一区。第一区，特别是区的形状和大小，取决于第一物镜107的光学设置，并且(如也将在下文进一步解释的)取决于扫描设备115的配置和实施例。第一区可以具有任何形状。例如，如果第一物镜107被实施为圆形透镜，则前述扫描区域同样被实施为圆形。然而，应明确指出的是，本发明不限于第一区的圆形形状。而是，在根据本发明的方法中可使用第一区的适合于本发明的任何形状。

由SEM 100的扫描设备115引起对物体125的要成像并且由一次电子束扫描的区域的限制。图5示出了根据图2的SEM 100的扫描设备115的示意性图示。呈根据图3的组合装置200的电极布置307、308形式的扫描设备以及根据图4的粒子束装置400的扫描设备429具有与SEM 100的扫描设备115的设置相同或对应的设置。扫描设备115包括第一偏转设备800和第二偏转设备801。第一偏转设备800用于使一次电子束在x方向上偏转，并且第二偏转设备801用于使一次电子束在y方向上偏转。第一偏转设备800线连接至第一偏转放大器单元802。第一偏转放大器单元802提供用于驱动第一偏转设备800的第一电压或第一电流。第二偏转设备801线连接至第二偏转放大器单元803。第二偏转放大器单元803提供用于驱动第二偏转设备801的第二电压或第二电流。

第一偏转设备800和第二偏转设备801由于其电子设计可以提供例如高达电压的最大振幅的电压或例如高达电流的最大振幅的电流。具有最大振幅的电压或具有最大振幅的电流使第一偏转设备800和第二偏转设备801能够最大地使SEM 100的一次电子束偏转。因此，当馈送具有最大振幅的电压时，获得最大扫描场。举例来说，最大扫描场具有正方形或矩形形状。最大扫描场被实施为第二区。通过将振幅从最大振幅减小到较小振幅，获得小于最大扫描场的扫描场。因此，可以以有针对性的方式调整物体125的期望的放大率。

扫描区域的第一区具有第一形状，例如上文提到的圆形形状。扫描场的第二区具有第二形状，例如上文提到的正方形或矩形形状。因此提供了该第一形状不同于该第二形状。应再次明确指出的是，本发明不局限于第一区的圆形形状和/或第二区的正方形或矩形形状。而是，在根据本发明的方法中可使用第一区和/或第二区的适合于本发明的任何形状。

图6示出了根据本发明的方法的一个实施例，该方法由根据图2的SEM100执行。在方法步骤S1中，通过电子源101生成呈一次电子束形式的粒子束。呈一次电子束形式的粒子束然后通过第一物镜107聚焦到物体125上。此外，调整扫描设备115，其方式使得第一偏转设备800和第二偏转设备801提供具有最大振幅的电压或具有最大振幅的电流，使得获得最大扫描场(方法步骤S2)。

然后，由于第一物镜107的调整而选择的最大扫描区域与最大扫描场是对准的，如图7所展示的。图7示出了根据图2的SEM 100的扫描区域601和扫描场602的示意性图示。对扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区进行对准，其方式使得扫描区域601的第一区完全位于扫描场602的第二区中。换句话说，扫描场602的第二区完全涵盖扫描区域601的第一区。又换句话说，扫描区域601的第一区完全位于扫描场602的第二区中。

扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有第一重叠区域603。换句话说，扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有公共区域，即第一重叠区域603。在图7所展示的实施例中，公共区域，即第一重叠区域603，对应于扫描区域601的第一区。在图7中以带阴影的方式展示了扫描场602的第二区的第二非重叠区域604。因此，带阴影区域，即扫描场602的第二区的非重叠区域604，是与扫描区域601的第一区没有相交区的区域。

如图6所展示的，方法步骤S3涉及通过以下检测器中的至少一个检测例如呈二次电子和/或反向散射电子形式的相互作用粒子：

第一检测器116、第二检测器117、第三检测器121和室检测器119。另外或作为其替代方案，该方法涉及通过辐射检测器500检测呈x射线和/或阴极发光光线形式的相互作用辐射。在检测相互作用粒子和/或相互作用辐射的过程中，前述检测器生成检测信号(根据图6的方法步骤S4)。

然后，方法步骤S5涉及利用一次电子束生成物体125的图像和/或分析物体125。为此目的，仅使用由于源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。因此，由于一次电子束与物体125的包括第一区和第二区的第一重叠区域603的区域的相互作用而生成的检测信号被用于生成图像和/或用于分析物体125。在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，由于源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成那些检测信号不被使用和/或被掩蔽出去。然后，方法步骤S6涉及在SEM 100的监视器124上显示生成的图像和/或物体125的分析结果。

为了在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，由于源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成检测信号不被使用和/或被掩蔽出去，根据本发明的方法的一个实施例提供了将掩模布置在扫描场602的第二区的第二非重叠区域604之上。这例如在根据图6的方法步骤S5中完成。该掩模具有以下作用：在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，不使用利用源自第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。该掩模例如可以是物理掩模。作为其替代方案，提供了该掩模被实施为电子掩模。例如，通过图像处理和/或数据处理来生成电子掩模。举例来说，提供的是，在控制单元123中，通过图像处理和/或数据处理，在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，将由于源自扫描场602的第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号掩蔽出去，并且因此不会有助于生成物体125的图像和/或分析物体125。如果由于尺寸过小而不能容易地产生物理掩模，则电子掩模特别有利。具体地，根据本发明的方法提供了使掩模覆盖并掩蔽扫描场602的第二区的第二非重叠区域604。举例来说，提供了使掩模完全覆盖并掩蔽扫描场602的第二区的第二非重叠区域604。

为了在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，由于源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成检测信号不被使用和/或被掩蔽出去，根据本发明的方法的另外的实施例在方法步骤S5中提供了选择扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区，其方式使得该第一区和该第二区具有边界区域。在图8中对此进行了示意性展示。图8基于图7。相同的组成部分提供有相同的附图标记。在图8中，边界区域由扫描区域601的第一区的外部形状给出。图8中的扫描区域601的外部形状被实施为环形(即圆形)。

在边界区域中，扫描区域601的第一区邻接扫描场602的第二区的第二非重叠区域604。为了限定哪些检测信号用于生成物体125的图像和/或分析物体125，在根据本发明的方法的此实施例中使用至少一条直线。直线例如是在控制单元123中的图像处理和/或数据处理期间使用的虚拟直线。在图8所展示的实施例中，四条直线沿边界区域对齐，即第一直线605、第二直线606、第三直线607和第四直线608。四条直线605至608中的每一个均具有朝向扫描区域601的第一区的第一侧和朝向扫描场602的第二区的非重叠区域604的第二侧。在此描述的根据本发明的方法的实施例提供了在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，不使用利用源自第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。因此，相互作用粒子和/或相互作用辐射源自布置在直线605至608的第二侧上的第二非重叠区域604。在生成物体125的图像和/或分析物体125时，不考虑这些。相比之下，在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，使用利用源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。第一重叠区域603布置在直线605至608的第一侧处。在此描述的实施例可以总结如下：在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，使用根据源自直线605至608的第一侧上的区域的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。相比之下，在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，不使用根据源自直线605至608的第二侧上的区域的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。直线的数量不限于4。而是，可以使用任何期望数量的直线。

图9示出了根据本发明的方法的另外的实施例，该方法由根据图2的SEM 100执行。根据图9的根据本发明的方法的实施例基于根据图6的根据本发明的方法的实施例。根据图9的根据本发明的方法的实施例具有附加步骤S1A，该附加步骤例如在方法步骤S1与S2之间执行。作为其替代方案，方法步骤S1A在方法步骤S1之前和/或在方法步骤S5之后执行。作为其又另一个替代方案，在执行方法步骤S1至S5的同时执行方法步骤S1A。在方法步骤S1A中，调整SEM 100的放大率。举例来说，SEM 100的放大率从小放大率(1：1000)改变为大放大率(例如，1∶500.000)。在根据本发明的方法的一个实施例中，另外地或替代性地，提供了连续调整SEM 100的放大率，其中，上文提到和/或下文进一步提到的方法步骤也连续执行。在根据本发明的方法的又另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了以离散步骤调整SEM 100的放大率，其中，上文提到或下文进一步提到的方法步骤也以离散步骤执行。例如，如果使用上文提到掩模，则在调整SEM 100的放大率期间，掩模的大小也根据调整后的放大率而变化。

如上所述，SEM100的监视器124设有附加的光信号设备127，例如红色LED，和/或设有可以发出警告声音的附加的声信号设备128。在根据本发明的方法的一个实施例中，另外地或替代性地，提供了通过光信号设备127和/或声信号设备128向SEM 100的用户指示根据本发明的方法的执行。这例如在图6的方法步骤S5中完成。因此，通知用户：在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，使用由于源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号，而在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，不使用由于源自第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。

如上所述，SEM 100的控制单元123具有数据库126，在该数据库中存储数据并且从中读取出数据。然后在图10所展示的根据本发明的方法的另外的实施例中使用数据库126。图10示出了根据本发明的方法的另外的实施例，该方法由根据图2的SEM 100执行。根据图10的根据本发明的方法的实施例基于根据图6的根据本发明的方法的实施例。根据图10的根据本发明的方法的实施例具有附加方法步骤S7和S8，这些附加方法步骤例如在方法步骤S5之后执行。在方法步骤S5中生成的图像是物体125的第一图像。此外，物体125的在方法步骤S5中生成的分析是物体125的第一分析。在根据图10的根据本发明的方法的实施例中，提供了生成物体125的第二图像和/或执行对物体125的第二分析(方法步骤S7)。由于来自整个扫描场602的相互作用而生成的检测信号被用于执行物体125的第二图像的生成或用于执行对物体125的第二分析。因此，使用利用源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。此外，使用利用源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。然后，方法步骤S8涉及将第一图像和/或第二图像存储在数据库126中。另外地或替代性地，提供了将第一分析和/或第二分析的结果存储在数据库126中。第一图像和/或第一分析因此基于来自第一重叠区域603的相互作用。相比之下，第二图像和/或第二分析既基于来自第一重叠区域603的相互作用，又基于来自第二非重叠区域604的相互作用。

在根据本发明的方法的甚至另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了通过扫描设备115使扫描场602在物体上移位125。如果例如在根据本发明的方法的此甚至另外的实施例中使用上文提到的掩模，则该掩模与扫描场602一起被移位，使得仍然总是以下的情况：仅将源自物体125的展现了很少像差的区域的检测信号用于生成物体125的图像和/或用于分析物体125。扫描场602的这种移位例如可以通过在扫描设备115的第一偏转放大器单元802和/或第二偏转放大器单元803的输出级处的电压偏移或电流偏移来实现。

图11示出了扫描区域601和扫描场602的另外的示意性图示，在此基础上解释了根据本发明的方法的另外的实施例。调整SEM 100的放大率，其方式使得最大扫描区域601仅部分地被扫描场602涵盖。扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有在图11中以带阴影方式展示的第一重叠区域603。扫描场602的第一区域604A、扫描场602的第二区域604B、扫描场602的第三区域604C和扫描场602的第四区域604D不与扫描区域601重叠。因此，扫描场602的第一区域604A、扫描场602的第二区域604B、扫描场602的第三区域604C和扫描场602的第四区域604D是扫描场602的第二区的非重叠区域。在生成物体125的图像时，仅使用了由于源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。因此，由于一次电子束与物体125的包括第一区和第二区的第一重叠区域603的区域的相互作用而生成的检测信号被用于生成图像和/或用于分析物体125。在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，由于源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604A至604D的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成那些检测信号不被使用和/或被掩蔽出去。此外，在图像生成期间不考虑扫描区域601的第一区域601A和第二区域601B，因为由于扫描设备115的配置，一次电子束没有到达扫描区域601的第一区域601A和第二区域601B。

如上文所解释的，根据本发明的方法的一个实施例提供了通过扫描设备115使扫描场602在物体125上移位。与根据图11的实施例相比，图12示出了经移位的扫描场602。在此，还调整SEM 100的放大率，其方式使得最大扫描区域601仅部分地被扫描场602涵盖。扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有在图12中以带阴影方式展示的第一重叠区域603。扫描场602的第一区域604A和第二区域604B不与扫描区域601重叠。因此，扫描场602的第一区域604A和第二区域604B是扫描场602的第二区的非重叠区域。在生成物体125的图像时，仅使用了由于源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。因此，由于一次电子束与物体125的包括第一区和第二区的第一重叠区域603的区域的相互作用而生成的检测信号被用于生成图像和/或用于分析物体125。在生成物体125的图像时和/或在分析物体125时，由于源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604A和604B的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成那些检测信号不被使用和/或被掩蔽出去。此外，在图像生成期间不考虑扫描区域601的第一区域601A和第二区域601B，因为由于扫描设备115的配置，一次电子束没有到达扫描区域601的第一区域601A和第二区域601B。

图13示出了扫描区域601和扫描场602的甚至另外的示意性图示，在此基础上解释了根据本发明的方法的另外的实施例。图13基于图7。首先，参考上文给出的解释，这些解释也适用于此。图13示出了被实施为矩形的监视器124。监视器124具有显示区域124A。然后，物体125的图像旨在被显示在所述显示区域124A上。如上所述，此实施例提供了对扫描区域601的第一区和扫描场602的在图13中被实施为正方形的第二区进行对齐，其方式使得扫描区域601的第一区完全位于扫描场602的第二区中。扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有第一重叠区域603。在图13所展示的实施例中，公共区域，即第一重叠区域603，对应于扫描区域601的第一区。在图13中以带阴影的方式展示了扫描场602的第二区的第二非重叠区域604。因此，带阴影区域，即扫描场602的第二区的非重叠区域604，是与扫描区域601的第一区没有相交区的区域。在生成物体125的图像时，仅使用了由于源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。因此，由于一次电子束与物体125的包括第一区和第二区的第一重叠区域603的区域的相互作用而生成的检测信号被用于生成物体125的图像。在生成物体125的图像时，由于源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成那些检测信号不被使用和/或被掩蔽出去。此外，将监视器124的显示区域124A的未示出物体125的图像的任何区域的部分区域在颜色方面进行对比，其方式使得仅监视器124的显示区域124A的示出物体125的图像的那些部分区域是可辨别的。举例来说，监视器124的显示区域124A的未示出物体125的图像的任何区域的部分区域被显示为黑色。

图14示出了扫描区域601和扫描场602的甚至另外的示意性图示，在此基础上解释了根据本发明的方法的另外的实施例。图14基于图13。首先，参考上文给出的解释，这些解释也适用于此。图14示出了被实施为矩形的监视器124。监视器124再次具有显示区域124A。然后，物体125的图像旨在被显示在所述显示区域124A上。与根据图13的实施例相比，图14中的实施例提供了由被实施为静电八极单元的扫描设备确定扫描场602。扫描场602的第二区被实施为八边形。在此实施例中，还提供了扫描区域601的第一区完全位于扫描场602的第二区中。扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有第一重叠区域603。在图14所展示的实施例中，公共区域，即第一重叠区域603，对应于扫描区域601的第一区。在图14中以带阴影的方式展示了扫描场602的第二区的第二非重叠区域604。因此，带阴影区域，即扫描场602的第二区的非重叠区域604，是与扫描区域601的第一区没有相交区的区域。在生成物体125的图像时，仅使用由于源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。因此，由于一次电子束与物体125的包括第一区和第二区的第一重叠区域603的区域的相互作用而生成的检测信号被用于生成物体125的图像。在生成物体125的图像时，由于源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成那些检测信号不被使用和/或被掩蔽出去。此外，将监视器124的显示区域124A的未示出物体125的图像的任何区域的部分区域在颜色方面进行对比，其方式使得仅监视器124的显示区域124A的示出物体125的图像的那些部分区域是可辨别的。举例来说，监视器124的显示区域124A的未示出物体125的图像的任何区域的部分区域被显示为黑色。

图15示出了根据本发明的方法的一个实施例，该方法由根据图2的SEM100执行。在方法步骤S1C中，通过电子源101生成呈一次电子束形式的粒子束。此外，另外的方法步骤S2C涉及确定由于第一物镜107的调整而选择的最大扫描区域601，所述区域在图7中展示。而且，确定由于扫描设备115的调整而生成的最大扫描场602，所述场在图7中展示。由于第一物镜107的调整而选择的最大扫描区域601与最大扫描场602是对齐的，如图7所展示的。扫描区域601的第一区完全位于扫描场602的第二区中。扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有第一重叠区域603。在图7中以带阴影的方式展示了扫描场602的第二区的第二非重叠区域604。因此，带阴影区域，即扫描场602的第二区的非重叠区域604，是与扫描区域601的第一区没有相交区的区域。

然后，方法步骤S4C涉及将一次电子束聚焦到第一一次电子束重叠区域603上，并且方法步骤S5C涉及使一次电子束在第一重叠区域603之上扫描。然后方法步骤S6C涉及通过以下检测器中的至少一个检测例如呈二次电子和/或反向散射电子形式的相互作用粒子：第一检测器116、第二检测器117、第三检测器121和室检测器119。另外或作为其替代方案，该方法涉及通过辐射检测器500检测呈x射线和/或阴极发光光线形式的相互作用辐射。在检测相互作用粒子和/或相互作用辐射的过程中，前述检测器生成检测信号。

然后，方法步骤S7C涉及利用一次电子束生成物体125的图像和/或分析物体125。为此目的，仅使用仅根据源自第一重叠区域603的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号。因此，由于一次电子束与物体125的包括第一区和第二区的第一重叠区域603的区域的相互作用而生成的检测信号被用于生成图像和/或用于分析物体125。然后，方法步骤S8C涉及在SEM 100的监视器124上物体125的图像和/或物体125的分析结果。

图16示出了根据本发明的方法的又另外的实施例，该方法由根据图2的SEM 100执行。在方法步骤S1D中，通过电子源101生成呈一次电子束形式的粒子束。然后在方法步骤S2D中，通过第一物镜107将呈一次电子束形式的粒子束聚焦到物体125上。此外，调整扫描设备115，其方式使得第一偏转设备800和第二偏转设备801提供具有最大振幅的电压或具有最大振幅的电流，使得获得最大扫描场602。

然后由于第一物镜107的调整而选择的最大扫描区域601与最大扫描场602是对齐的，如图7所展示的。扫描区域601的第一区完全位于扫描场602的第二区中。

扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有第一重叠区域603。换句话说，扫描区域601的第一区和扫描场602的第二区具有公共区域，即第一重叠区域603。在图7中以带阴影的方式展示了扫描场602的第二区的第二非重叠区域604。因此，带阴影区域，即扫描场602的第二区的非重叠区域604，是与扫描区域601的第一区没有相交区的区域。

在方法步骤S3D中，使一次电子束在扫描场602的整个第二区之上扫描。方法步骤S4D涉及通过以下检测器中的至少一个检测例如呈二次电子和/或反向散射电子形式的相互作用粒子：第一检测器116、第二检测器117、第三检测器121和室检测器119。另外或作为其替代方案，该方法涉及通过辐射检测器500检测呈x射线和/或阴极发光光线形式的相互作用辐射。在检测相互作用粒子和/或相互作用辐射的过程中，前述检测器生成检测信号。

然后，方法步骤S5D涉及生成物体125的第一图像。为此目的，仅使用由于源自第一重叠区域603的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。因此，由于一次电子束与物体125的包括第一区和第二区的第一重叠区域603的区域的相互作用而生成的检测信号被用于生成第一图像和/或用于分析物体125。

然后，方法步骤S6D涉及生成物体125的第二图像。为此目的，仅使用由于源自扫描场602的第二区的第二非重叠区域604的检测到的相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的那些检测信号。

方法步骤S7D涉及用第一标识符标识物体125的第一图像和/或用第二标识符标识物体125的第二图像。图7示出了既分配给第一图像又分配给第二图像的环形分离线609。举例来说，提供了沿重叠区域603的外边界布置分离线609。另外地或作为其替代方案，提供了使用至少一种第一颜色作为第一标识符。在另外的实施例中，另外地或替代性地，提供了使用沿非重叠区域604的外边界延伸的至少一条第二分离线(例如环形线)作为第二标识符。另外地或替代性地，提供了使用至少一种第二颜色或第二图像的可调整对比度作为第二标识符。此外，方法步骤S8D涉及在监视器124上显示物体125的用第一标识符标识的第一图像和/或物体125的用第二标识符标识的第二图像。

根据本发明的方法的优点在于，在生成图像时和/或在执行对物体125的分析时，物体125的仅可以利用非常明显的像差进行成像和/或分析的那些区域不被考虑或以使得这些区域可容易地被用户识别的方式进行标识。通过根据本发明的方法，在成像之后对物体125的成像和/或分析仅展现了很小的像差的那些区域进行成像和/或分析或考虑。

在本说明书、附图和权利要求中披露的本发明的特征对于在本发明的各个实施例中实现本发明而言可能是必不可少的，无论是单独地还是以任意的组合。本发明不局限于所描述的这些实施例。在权利要求的范围内并且考虑到本领域相关技术人员的知识，可以对其进行改变。

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附图标记清单

100 SEM

101 电子源

102 引出电极

103 阳极

104 束引导管

105 第一聚束透镜

106 第二聚束透镜

107 第一物镜

108 第一光阑单元

108A 第一光圈

109 第二光阑单元

110 极靴

111 线圈

112 单独的电极

113 管状电极

114 物体固持器

115 扫描设备

116 第一检测器

116A 相反场光栅

117 第二检测器

118 第二光圈

119 室检测器

120 样本室

121 第三检测器

122 样本载台

123 具有处理器的控制单元

124 监视器

124A 监视器的显示区域

125 物体

126 数据库

127 光信号设备

128 声信号设备

200 组合装置

201 样本室

300 离子束装置

301 离子束发生器

302 离子束装置中的引出电极

303 聚束透镜

304 第二物镜

306 可调整或可选择光阑

307 第一电极布置

308 第二电极布置

400 具有校正器单元的粒子束装置

401 粒子束柱

402 电子源

403 引出电极

404 阳极

405 第一静电透镜

406 第二静电透镜

407 第三静电透镜

408 磁偏转单元

409 第一静电束偏转单元

409A 第一多极单元

409B 第二多极单元

410 束偏转设备

411A 第一磁扇区

411B 第二磁扇区

411C 第三磁扇区

411D 第四磁扇区

411E 第五磁扇区

411F 第六磁扇区

411G 第七磁扇区

413A 第一反射镜电极

413B 第二反射镜电极

413C 第三反射镜电极

414 静电反射镜

415 第四静电透镜

416 第二静电束偏转单元

416A 第三多极单元

416B 第四多极单元

417 第三静电束偏转单元

418 第五静电透镜

418A 第五多极单元

418B 第六多极单元

419 第一分析检测器

420 束引导管

421 物镜

422 磁透镜

423 第六静电透镜

424 样本载台

425 物体

426 样本室

427 检测束路径

428 第二分析检测器

429 扫描设备

432 另外的磁偏转元件

500 辐射检测器

601 扫描区域

601A 扫描区域的第一区域

601B 扫描区域的第二区域

602 扫描场

602A 另外的扫描场

603 第一重叠区域

604 扫描场的第二非重叠区域

604A 扫描场的第一区域

604B 扫描场的第二区域

604C 扫描场的第三区域

604D 扫描场的第四区域

605 第一直线

606 第二直线

607 第三直线

608 第四直线

709 第一束轴线

710 第二束轴线

800 第一偏转设备

801 第二偏转设备

802 第一偏转放大器单元

803 第二偏转放大器单元

OA 光轴

OA1 第一光轴

OA2 第二光轴

OA3 第三光轴

S1至S8 方法步骤

S1A 方法步骤

S1C至S8C 方法步骤

S1D至S8D 方法步骤

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