基于超表面结构的超导纳米线单光子探测器及其制备方法

摘要

本发明提供一种基于超表面结构的超导纳米线单光子探测器及其制备方法，该探测器包括：衬底；超导纳米线单光子探测器，形成于衬底的一面，包括形成于衬底上的超导纳米线层；超表面结构，形成于衬底的另一面，且通过刻蚀衬底的另一面形成，超表面结构由具有梯度相位分布的不同直径的圆柱体构成，超表面结构将垂直入射光聚焦至超导纳米线单光子探测器上；除去超表面结构后衬底的厚度与超表面结构的焦距适配。该超导纳米线单光子探测器整个系统简洁精巧；另外，由于超表面结构是由衬底直接刻蚀形成并与超导纳米线单光子探测器加工在一起，不需要装配且不需要外部对准辅助，方便集成，对准精度及安全性高，不受外界震动的影响，便于携带和移动。