一种可实现折射率与压力的双传感应用的微盘型光学谐振腔结构

摘要

本发明公开一种可实现折射率与压力的双传感应用的微盘型光学谐振腔结构，由柔性衬底层、直波导、微盘谐振腔组成，单直波导与微盘型谐振腔集成在柔性衬底上，单直波导与微盘型谐振腔之间存在间隙，光信号从单直波导的一端输入后，经过两者的间隙区域发生耦合进入到微盘腔中发生谐振，光信号从直波导的另一端输出。本发明的微盘型谐振通过特定尺寸的设定，可以支持两种回音壁模式，由于这两种WGM模式在腔体内的电磁场能分布有差异，可实现对周围环境折射率与压力的双传感应用。在柔性光子器件的生物传感应用中，此种谐振腔结构可以有效的控制了力‑光耦合效应，解决了由于弯曲变形时压力因素对生物传感探测结果不准确的问题。