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一种基于湿度的薄膜褶皱形貌调控方法

摘要

本发明公开了属于薄膜材料技术领域的一种基于湿度的薄膜褶皱形貌调控方法。所述方法具体步骤为:高温下在基底表面制备薄膜材料,冷却到室温得到基底‑薄膜材料;然后将基底‑薄膜材料置于湿度氛围中,薄膜开始形成褶皱形貌,保持后取出;得到具有褶皱形貌的薄膜材料。所述湿度氛围为40%~90%相对湿度,所述褶皱形貌包括六边形网络状褶皱形貌、平行电话线褶皱阵列形貌和分叉电话线褶皱网络形貌。本发明薄膜褶皱的形貌能通过调节基底种类、薄膜厚度和环境湿度进行调控;适用于更广泛的材料体系,且操作简便、可控性好;制备方法简单、环保,不需要使用有毒的有机溶剂;对于薄膜材料的基础研究和器件研发具有重要意义。

著录项

  • 公开/公告号CN113174580A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;

    申请/专利号CN202110406947.2

  • 发明设计人 刘锴;王恩泽;

    申请日2021-04-15

  • 分类号C23C14/54(20060101);C23C14/58(20060101);C23C16/30(20060101);C23C16/52(20060101);C23C16/56(20060101);C23C18/12(20060101);C23C14/06(20060101);

  • 代理机构11246 北京众合诚成知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄家俊

  • 地址 100084 北京市海淀区清华园

  • 入库时间 2023-06-19 12:00:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-09-09

    授权

    发明专利权授予

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