环状楔形铁薄膜的褶皱形貌研究

摘要

采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了环状楔形铁薄膜系统,研究了该薄膜的褶皱形貌.实验表明,楔形铁薄膜在沉积过程中受到硅油的淬火作用而产生较大的压应力,并以电话线褶皱的形式得以释放.电话线褶皱在大气气氛中成核并缓慢生长,其生长周期可达几天到几十天.由于圆环边界的限制作用,电话线褶皱在边界处往往形成平行于周边的正弦结构,而远离边界处则形成无规的电话线褶皱网格.楔形铁薄膜的厚度由边界处往内部递减,因而电话线褶皱的尺寸(包括正弦波长和振幅)也逐渐衰减.