形成高纵横比特征的方法

摘要

公开了用于在衬底上形成高纵横比特征的方法和系统。例示性方法包含：在凹部内形成第一碳层；蚀刻所述第一碳层在所述凹部内的一部分；以及在所述凹部内形成第二碳层。还公开了使用所述方法或系统形成的结构。