基于概率密度函数提高相移误差检测精度的方法及系统

摘要

本发明公开了基于概率密度函数提高相移误差检测精度的方法，建立了测量系统中由于相移不准导致的相位误差模型，并提出了一种利用统计方法提取相移误差的算法。即利用“理想情况下截断相位的概率密度(PDF)均匀一致”的特点，对待测条纹采用不同的相移误差组合，计算每条概率密度函数曲线的STD值，STD值最小时对应的补偿相移误差组合作为测量系统的真实相移误差，通过本发明的方法提高了相移误差检测的准确度，减小了检测误差。