公开/公告号CN113091956A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 上海交通大学;
申请/专利号CN202110269611.6
申请日2021-03-12
分类号G01K17/00(20060101);G01K7/02(20210101);C23C14/34(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/58(20060101);C23C14/08(20060101);C23C14/10(20060101);C23C14/18(20060101);
代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人徐红银;赵楠
地址 200240 上海市闵行区东川路800号
入库时间 2023-06-19 11:47:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-19
授权
发明专利权授予
机译: 温度传感器装置和使用该装置的辐射温度计,温度传感器装置的制造方法,使用光致抗蚀剂膜的多层薄膜热电堆和使用该热电堆的辐射温度计以及多层薄膜热电堆的制造方法
机译: 使用相同温度和传感器元件的辐射温度计,制造温度传感器元件的方法,使用该传感器的辐射温度计,以及使用光致抗蚀剂膜的多层薄膜热电堆以及制造该多层薄膜的方法薄膜热电堆
机译: 制造薄膜型热电偶的方法,使用的薄膜型热电偶的制造装置,使用该薄膜制热型的薄膜热电偶的制造方法