面向微纳米视觉运动追踪的抗轴向偏差性能评估方法

摘要

本发明提供一种面向微纳米视觉运动追踪的抗轴向偏差性能评估方法，包括构建微纳米视觉运动追踪系统，生成平面运动轨迹并获取视觉运动追踪测量精度作为基准精度；向微纳米视觉运动追踪系统中输入不同的轴向偏差位移激励源信号，获取在不同轴向偏差位移激励信号下的视觉运动追踪精度；使用评价函数获取每种激励信号下的视觉运动追踪精度；根据基准精度及每种激励信号下的视觉运动追踪精度计算精度劣化比例，得到评估结果。本发明可用于评估现有的各种类型微纳米级视觉运动追踪技术，建立由轴向偏差位移量到测量精度变化值的映射，将轴向偏移引起的测量误差从系统噪声中剥离，进一步扩充微纳米级视觉运动追踪测量对象的适用范围。