一种低氧大尺寸含铝基金属间化合物的合金靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种低氧大尺寸含铝基金属间化合物的合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将高纯金属铝、高纯金属M和添加剂X进行配料得混合料，其中M为Ti、Ni、Cr或17种稀土金属元素中的任意一种，添加剂X为铝和M的中间合金、M的氢化物中的至少一种；(2)将混合料预压成型，加热至固相温度点±20℃范围内保压，冷却得到坯料；(3)将坯料进行均温处理后冷却；(4)均温处理后的坯料经过热压或热轧制成大尺寸板坯后加工成靶材。本发明制得平面尺寸不低于104mm2的大尺寸优质靶材，其氧等杂质含量低、致密性好、成分均匀和晶粒可控，有利于在半导体制备过程中均匀溅射成膜，最终得到稳定性好、废品率低的晶元。