栅极结构中氮化钛层厚度的确定方法、装置、设备与介质

摘要

本发明提供了一种栅极结构中氮化钛层厚度的确定方法、装置、设备与介质，栅极结构中氮化钛层厚度的确定方法，包括：获取N个栅极结构的栅极电阻信息，每个栅极结构均包括至少一层氮化钛层，每个栅极结构中，至少有一层氮化钛层与其他栅极结构的氮化钛层是同类的，针对于任意两个栅极结构，至少有一层氮化钛层是不同类的，同类的氮化钛层所形成的电阻、厚度是相同的；其中的N为大于或等于2的整数；根据所述N个栅极结构的栅极电阻信息，确定所述N个栅极结构中至少部分氮化钛层的厚度。