一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置

摘要

本公开提供了一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置，采用射频磁控溅射仪器，所述方案包括：设定相关溅射工艺参数；获取碲化铅薄膜的自由载流子吸收与衬底温度曲线；根据所述曲线确定化学计量比与衬底温度的映射关系；基于所述映射关系，通过调节衬底温度实现所述碲化铅薄膜中自由载流子吸收的调制；获得预设化学计量比的碲化铅薄膜；所述方案通过调节衬底温度，改变制备出的碲化铅薄膜的化学计量比，从而改变薄膜中析出铅元素的量，用于改变杂质散射自由载流子的强度，达到调制自由载流子吸收的目的，进而实现碲化铅薄膜不同化学计量比的可控调节。