包括可调谐的亥姆霍兹谐振器的微机械超声换能器

摘要

本公开的实施例涉及包括可调谐的亥姆霍兹谐振器的微机械超声换能器。提出了一种微机械超声换能器。该微机械超声换能器包括用于发射/接收超声波的膜元件，在超声波的发射/接收期间，膜元件以相应的谐振频率关于平衡位置振荡。膜元件的平衡位置可以根据施加到膜元件的偏置电信号而可变化。该微机械超声换能器进一步包括帽结构，在膜元件上方延伸；帽结构在其与膜元件之间标识出腔体，该腔体的体积根据膜元件的平衡位置而可变化。帽结构包括用于将超声波输入到腔体/从腔体输出超声波的开口。帽结构和膜元件用作可调谐的亥姆霍兹谐振器，由此谐振频率根据腔体的体积而可变化。