基于多物理场仿真的多喷头喷淋设备设计方法

摘要

一种基于多物理场仿真的多喷头阵列喷淋设备设计方法，包含如下步骤：S1.建立多喷头喷淋设备参数数据库、工艺参数数据库；S2.基于多喷头喷淋设备参数数据库，建立多喷头阵列喷淋设备几何模型；S3.应用仿真软件进行多物理场耦合仿真计算，基于工艺参数数据库设置流体参数和边界条件，耦合计算蚀刻液的流体场、温度场、浓度场结果；S4.分析耦合计算结果在特定高度范围上的数值分布，若误差在允许范围内，则进行S5，否则，返回S1步骤修改多喷头喷淋设备参数数据库；S5.建立不同的工艺参数数据库对应的多喷头喷淋设备参数数据模型。本发明提供的方法基于数值仿真方法，能够显著降低设备的设计成本以及设计周期。