公开/公告号CN112993167A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 重庆大学;
申请/专利号CN202110169284.7
申请日2021-02-07
分类号H01L51/42(20060101);H01L51/46(20060101);H01L51/48(20060101);B82Y10/00(20110101);B82Y40/00(20110101);
代理机构11275 北京同恒源知识产权代理有限公司;
代理人董林利
地址 400044 重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号
入库时间 2023-06-19 11:27:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-07
授权
发明专利权授予
机译: 有机改性金属氧化物纳米颗粒,有机改性金属氧化物纳米颗粒的溶液,有机改性金属氧化物纳米颗粒的抗蚀剂组合物,抗蚀剂图案形成方法
机译: 有机改性金属氧化物纳米颗粒,有机改性金属氧化物纳米颗粒的溶液,有机改性金属氧化物纳米颗粒的抗蚀剂组合物,抗蚀剂图案形成方法
机译: 有机改性金属氧化物纳米颗粒,含有有机改性金属氧化物纳米颗粒的溶液,抗蚀剂组合物含有有机改性金属氧化物纳米粒子,抗蚀剂图案形成方法