Organic modified metal oxide nanoparticles, solution containing organic modified metal oxide nanoparticles, resist composition containing organic modified metal oxide nanoparticles, and resist pattern forming method

摘要

【課題】簡易な方法で製造でき、感度を高めることができる有機修飾金属酸化物ナノ粒子を提供する。【解決手段】有機修飾金属酸化物ナノ粒子は、コアと、第一修飾基と、第二修飾基とを備えている。コアは、複数個の金属原子と、前記複数個の金属原子に共有結合した複数の酸素原子とを有している。第一修飾基（Ａ１）は、コアに配位結合している、カルボン酸カルボキシレート、スルホン酸スルホネートおよびホスホン酸ホスホネートからなる群より選択される配位子である。第二修飾基（Ａ２）は、コアに配位結合し、第一修飾基（Ａ１）と構造の異なる配位子および／または無機陰イオンである。コア同士は、少なくとも第一修飾基（Ａ１）によって配位結合により架橋された構造を有する。【選択図】なし