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一种延长石墨坩埚使用寿命的方法

摘要

本发明公开了一种延长石墨坩埚使用寿命的方法,该方法包括对石墨坩埚进行以下加工设计:预先将相邻两个石墨坩埚瓣的接缝位置处的坩埚内壁加工出凹槽,在该凹槽内设置可拆卸的石墨保护条,该石墨保护的尺寸与该凹槽的尺寸匹配;石墨坩埚使用一段时间后,将石墨条取下,如有损耗,进行更换。石墨坩埚与石墨保护条的组装方式为:分别在石墨坩埚瓣侧边缘的上端位置开设插孔,所述石墨保护条的一侧具有与石墨坩埚内壁匹配的弧形面,该石墨保护条的上端向另一侧面方向突出,并在该突出的部分下端设有两个插接棒,该两个插接棒分别插入相邻两个石墨坩埚瓣上端的插孔内。本发明能够有效阻止石墨坩埚接口处的损耗,延长石墨坩埚的使用寿命。

著录项

  • 公开/公告号CN112941618A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 有研半导体材料有限公司;

    申请/专利号CN201911270089.2

  • 申请日2019-12-11

  • 分类号C30B15/10(20060101);C30B29/06(20060101);

  • 代理机构11100 北京北新智诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘秀青

  • 地址 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧

  • 入库时间 2023-06-19 11:22:42

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-10-27

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B15/10 专利申请号:2019112700892 申请公布日:20210611

    发明专利申请公布后的驳回

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