公开/公告号CN112943571A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-11
原文格式PDF
申请/专利号CN202110250025.7
申请日2021-03-08
分类号F03H1/00(20060101);
代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人安丽
地址 230031 安徽省合肥市庐阳区三十岗乡古城路181号
入库时间 2023-06-19 11:22:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-02-03
授权
发明专利权授予
机译: 用于原位清洁的等离子体清洁环,包括等离子体环的等离子体处理设备,包括等离子体清洁环的等离子体处理系统以及使用等离子体清洁环的等离子体处理方法
机译: 加速无电极等离子体的mpd推进器和使用mpd推进器的无电极等离子体加速方法
机译: 用于加速无电极等离子体的mpd推进器以及使用该mpd推进器加速无电极等离子体的方法