一种基于亚波长结构的模式阶数转换器

摘要

本发明公开了一种基于亚波长结构的模式阶数转换器，包括：硅基衬底、掩埋氧化层、模式阶数转换部件和上包层，模式阶数转换部件包括输入通道、左锥形通道、中路通道、右锥形通道和右输出通道。输入通道的一端和左锥形通道较宽的一端相连，输出通道的一端和右锥形通道较宽的一端相连。左锥形通道和右锥形通道两侧布有亚波长光栅结构，分别构成左模式过渡部件和右模式过渡部件。中间直通通道位于左模式过渡部件和右模式过渡部件中间，与左右两个模式过渡部件的间隔均为半个光栅周期长度。本发明具有低插入损耗、高转换效率、尺寸紧凑且设计灵活的优点。