公开/公告号CN112926157A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国计量大学;
申请/专利号CN202110267031.3
申请日2021-03-10
分类号G06F30/17(20200101);G06F30/27(20200101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101);G06F119/18(20200101);
代理机构
代理人
地址 310018 浙江省杭州市学源街258号中国计量大学
入库时间 2023-06-19 11:19:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-06-27
授权
发明专利权授予
机译: 包括光栅结构形式的光谱滤光片的投影曝光设备的照明光学单元的反射镜和在镜子上形成光栅结构的光谱滤光片的制造方法
机译: 包括光栅结构形式的光谱滤光片的投影曝光设备的照明光学单元的反射镜和在镜子上形成光栅结构的光谱滤光片的制造方法
机译: 用于测量混合气体的光学光栅传感器以及一种基于光栅的测量方法,该方法基于光栅,使用长周期光栅或短周期光栅