工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备

摘要

本发明公开了一种工艺建模整合系统，包括：工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；技术参数导入和验证模块，用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确；数据整合模块，用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合；输出模块，用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，更具体地，涉及一种工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备

背景技术

在半导体集成电路制造工厂的生产线上，通常是采用制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)进行工艺流程控制。当生产的产品不同时，工艺流程也会不同。不同的产品，需要在MES中建立对应的工艺流程模型。

工艺流程建模是半导体制造工厂的最基本需求，建模的准确性对产品品质、生产设备乃至工厂环境起到至关重要的影响，建立过程不允许任何数据错误或失配问题。但各工厂生产系统及建模架构差异，目前市场上并没有专门用于建模数据整合的系统用于生产制造。

目前建模流程主要通过各类表单进行数据定义，通过人工的方式进行数据收集和整合，完成相关表单定义后再导入生产系统进行建模。这种建模流程存在人工干预环节较多，失误风险高、时效性不佳、数据版本缺乏管控等风险。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种工艺建模整合系统，通过人机交互和系统验证实现工艺建模过程中的数据收集和自动整合。

本发明提供的一种工艺建模整合系统，包括：

工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；技术参数导入和验证模块，用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确；数据整合模块，用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合；输出模块，用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。

进一步，所述数据整合模块还用于对整合后的数据进行校验。

进一步，所述数据整合模块可将数据整合结果反馈至关联人定义模块。

进一步，所述技术参数验证模块包括：技术参数导入模块，用于导入和/或补充所述各步骤的技术参数；系统验证模块，用于验证所述技术参数是否完整和正确，并输出验证结果；技术参数确认模块，用于确认所述技术参数是否符合产品技术要求，并输出确认结果。

进一步，所述技术参数未通过所述系统验证模块的验证，将所述验证结果反馈至所述技术参数导入模块。

进一步，所述技术参数未通过所述技术参数确认模块的确认，将所述确认结果反馈至所述技术参数导入模块。

基于同一发明构思，本发明还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机可执行的指令，当所述计算机可执行的指令被执行时实现权利要求1至6中任意一项所述的工艺建模整合系统。

基于同一发明构思，本发明还提供一种计算机设备，包括处理器以及存储设备，所述处理器适于实现各指令，所述存储设备适于存储多条指令，所述指令适于由处理器加载并实现权利要求1至6中任意一项所述的工艺建模整合系统。

本发明的工艺建模整合系统，使用人机交互替代现有技术建模过程中数据收集整合过程中的人人交互，减少数据处理批次，同时与生产系统对接，在数据提交过程中完成数据验证，确保数据有效性。数据收集验证完成后即可直接进入正式建模业务流程，且有效避免因无效数据导致的流程退回，提升建模效率，缩短建模周期。

通过简化和自动化建模数据处理流程，减少人工干预，保证数据版本统一，减少人为失误，优化建模效率。

附图说明

图1为本发明工艺建模整合系统示意图。

具体实施方式

图1为本发明工艺建模整合系统示意图。

通常半导体集成电路产品在制造过程中有一条完整的工艺流程，包含了多个工艺步骤，可能多达十几个甚至几十个步骤。每个步骤都包含有许多工艺参数，并且各步骤的工艺参数结构和数据都各不相同。每个步骤都由不同的专业技术人员参与和开发。

具体来说本发明的工艺建模整合系统包括，工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；各步骤的参数结构可以通过各步骤的数据表单导入，如果已包含具体参数时，参数可以一并导入。例如通过人机界面的方式或全自动的方式导入。

工艺建模整合系统还包括，系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；例如验证导入的各步骤的参数数量是否满足要求，以及步骤间的逻辑关系是否正确，例如步骤数量、各步骤的先后次序，步骤名称等是否满足要求。

工艺建模整合系统还包括，关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；关联人和确认人通常为多个，例如一个工艺步骤定义一个关联人和一个确认人，关联人和确认人为系统中已经定义的用户账号，该账号可以与工艺步骤关联，可以在系统逻辑验证模块后系统自己定义，也可以通过人机界面的方式定义。

工艺建模整合系统还包括，技术参数导入和验证模块，用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确；该模块通常可以分为三个子模块，第一个子模块为：技术参数导入模块，用于导入和/或补充所述各步骤的技术参数；例如由关联人通过人机界面导入和/或补充各步骤的技术参数。

第二个子模块为：系统验证模块，用于验证所述技术参数是否完整和正确；具体的，例如验证技术参数涉及的技术条件在生产系统中是否真实存在，是否能够提供确定的生产进行验证，同时验证技术参数之间的关联，包括对应机台、污染等级等，既包括了完整性也包括了正确性。如果技术参数验证未通过可反馈至技术参数导入模块，由关联人更正。

第三个子模块为：技术参数确认模块，用于确认所述技术参数是否符合产品技术要求；例如由确认人通过人机界面进行确认，如果技术参数确认未通过可反馈至技术参数导入模块，由关联人更正。

工艺建模整合系统还包括，数据整合模块，用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合；数据整合模块还用于对整合后的数据进行校验。并把整合结果以及校验结果反馈至关联人定义模块。

工艺建模整合系统还包括，输出模块，用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。

建模系统建模后将数据传输至制造执行系统。

本实施例的工艺建模整合系统，使用人机交互替代现有技术建模过程中数据收集整合过程中的人人交互，减少数据处理批次，同时与生产系统对接，在数据提交过程中完成数据验证，确保数据有效性。数据收集验证完成后即可直接进入正式建模业务流程，且有效避免因无效数据导致的流程退回，提升建模效率，缩短建模周期。

以上通过具体实施方式和实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。