一种半导体生产过程数据预处理方法及装置

摘要

本发明公开了一种半导体生产过程数据预处理方法及装置，能够对半导体制造系统数据进行变换、清理和规约，提高了数据预处理的准确性和效率，能够可靠地去除异常的数据点，便于进一步的分析研究。本发明提供的一种半导体生产过程数据预处理方法，包括以下步骤：获取半导体生产过程中的数据，并进行数据集成并进行数据清理；对数据进行规范化处理；对规范化处理后的数据检测异常值并剔除，并填补缺失值；进行冗余变量检测；通过数据挖掘算法对数据进行处理，输出经过预处理的数据。