一种音叉型石英晶体压电振动片

摘要

本发明公开了一种音叉型石英晶体压电振动片，包括基部以及与基部相连且关于基部中心轴对称设置的一对振动臂，所述基部上沿振动臂长度方向延伸形成一对与振动臂平行的点胶臂，两所述点胶臂分布在两振动臂的两侧，其特征在于，该振动片的重心位于基部的中心轴线上，所述基部上开设有减重孔，通过减轻基部的重量使得该振动片的重心向点胶臂的点胶处偏移。本发明通过在振动片的基部上开设减重孔，减轻基部的重量，使振动片位于基部一侧的重心向振动片点胶臂的点胶方向偏移，防止长时间工作后振动片本体出现偏斜趋势，提高了点胶部位的粘结力，提高了产品长期使用的稳定性。

说明书

技术领域

本发明涉及一种电子元件，具体是一种音叉型石英晶体压电振动片。

背景技术

在21世纪随着技术的进步以及市场应用的变化，石英晶体谐振器呈现先小型化、高精度、低功耗的发展趋势。其次，石英晶体谐振器向更高精度与更高稳定度方向发展。石英晶体谐振器逐渐小型化、薄片化和片式化，为其提高精度和稳定度提出更大挑战。从市场应用角度看，石英晶体谐振器为电子产品提供稳定的时钟频率，其精度和稳定度对下游产品的质量、性能以及后期维护成本具有至关重要的影响。小型化、超高频石英晶体谐振器是未来5G应用的技术发展趋势。

音叉造型的石英振动片是晶体谐振器所使用之石英振动片的其中一种，由于压电振动片小型化的发展趋势，小型化的音叉KHz级别振动片长时间工作时，由于振动片呈悬臂状布置，通常在振动片的点胶臂上点胶将其固定，因为振动片的重心在点胶处的一侧，振动片本体长时间工作后易产生偏斜趋势，长期如此会导致点胶部位不牢靠，导致点胶部位粘结力下降，影响音叉振动，导致电阻大幅增加，同时使得产品长期使用后稳定性下降，因此亟待解决。

发明内容

为了避免和克服现有技术中存在的技术问题，本发明提供了一种音叉型石英晶体压电振动片。本发明解决了振动片本体长期工作后点胶部位不牢靠的问题，提高了产品长期使用的稳定性。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种音叉型石英晶体压电振动片，包括基部以及与基部相连且关于基部中心轴对称设置的一对振动臂，所述基部上沿振动臂长度方向延伸形成一对与振动臂平行的点胶臂，两所述点胶臂分布在两振动臂的两侧，其特征在于，该振动片的重心位于基部的中心轴线上，所述基部上开设有减重孔，通过减轻基部的重量使得该振动片的重心向点胶臂的点胶处偏移。

作为本发明进一步的方案：所述减重孔有偶数个，对称开设在基部中心轴的两侧。

作为本发明再进一步的方案：所述减重孔为通孔，或为设置在基部正反两面且位置对应的盲孔。

作为本发明再进一步的方案：所述减重孔的孔体积占基部总体积的1/4～1/8。

作为本发明再进一步的方案：所述点胶臂的臂端设置有便于点胶的点胶平台。

作为本发明再进一步的方案：所述振动臂远离基部的一端设置有调频电极；所述振动臂正反两面均沿振动臂长度方向开设有凹槽，凹槽位于调频电极和基部之间，所述凹槽表面设置有凹槽电极；所述基部上在其中心轴两侧设置有装配电极，两所述装配电极均通过连接电极与对应的凹槽电极相连，两所述连接电极彼此位置避让。

作为本发明再进一步的方案：所述凹槽电极、调频电极、装配电极、连接电极均为镀金层。

作为本发明再进一步的方案：所述凹槽电极、连接电极以及装配电极的镀金层厚度相等，所述调频电极的镀金层厚度大于所述凹槽电极、连接电极以及装配电极的镀金层厚度。

作为本发明再进一步的方案：所述基部远离振动臂的一侧设置有便于固定振动片的折臂。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明通过在振动片的基部上开设减重孔，减轻基部的重量，使振动片位于基部一侧的重心向振动片点胶臂的点胶方向偏移，防止长时间工作后振动片本体出现偏斜趋势，提高了点胶部位的粘结力，提高了产品长期使用的稳定性。

2、本发明减重孔的数量为偶数个，且对称开设在基部中心轴的两侧，使得开孔不会对振动片的重心产生影响，使得重心始终保持在基部的中心轴上。

3、本发明减重孔既可以是通孔也可以是盲孔，为振动片的生产加工提供了多种选择；折臂的设置便于振动片固定在wafer片上，使其再加工过程中不会掉落；减重孔的孔体积设计为基部的1/4～1/8，其孔体积的合理化调整，即可将重心调整至与点胶臂的点胶平台平齐，使振动片工作时更加稳定。

4、本发明采用镀金层作为电极，导电性更佳且化学性质稳定；调频电极的镀金层较厚，便于后期加工时切削其镀金层厚度从而改变其频率。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明中的电极位置布置图。

图3为本发明中振动臂凹槽所在段的剖视图。

图中：1、调频电极；2、点胶平台；3、点胶臂；4、凹槽；5、连接电极；6、减重孔；7、基部；8、折臂；9、凹槽电极；10、装配电极；11、振动臂；12、石英。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1～3，本发明实施例中，一种音叉型石英晶体压电振动片，包括基部7以及关于基部2中心轴对称设置的一对振动臂11，振动片整体为石英12材质。

两条振动臂11的正反两面均沿振动臂的1的长度方向开设有凹槽4，正反两面的凹槽4深度一致，凹槽4表面设置有凹槽电极9。基部2表面在中心轴两侧设置有装配电极10，装配电极10覆盖基部7的正面、基部7的侧面以及基部7的背面。

装配电极10通过连接电极5与凹槽电极9相连，具体为基部7中心轴一侧的装配电极10与基部7中心轴另一侧的凹槽电极9相连，两连接电极5彼此位置避让，两连接电极13之间为裸露的石英3区域。

两条的振动臂11的侧面亦分布有电极区域。

振动臂11的端部还设置有调频电极1，振动臂11的正反两面存在一段裸露的石英12区域，将调频电极1和凹槽电极9隔开。

调频电极1、凹槽电极9、装配电极10以及连接电极5优选为镀金层。凹槽电极9、装配电极10以及连接电极5的厚度相等，调频电极1的厚度大于凹槽电极9、装配电极10以及连接电极5的厚度。

为方便振动片的固定，基部7远离振动臂11的一端凸设有折臂22便于其固定在wafer片上，使其再加工过程中不会掉落。

基部7上沿振动臂11长度方向延伸形成一对与振动臂11平行的点胶臂3，点胶臂3分布在两振动臂11的两侧，点胶臂3的臂端设置有点胶平台2，便于该振动片的点胶固定。

该振动片的重心位于基部7的中心轴线上。

基部7上开设有减重孔6，减重孔6对称开设在基部7中心轴的两侧。原本该振动片的中心位于基部7所在侧，开设减重孔6为基部7减重后，该振动片的重心向点胶臂3的点胶平台2方向偏移。

减重孔6形状不限，既可以是通孔，亦可以是盲孔。当减重孔6为盲孔时，减重孔设置在基部7正反两面且位置对应。其数量亦不限，为偶数个即可，优选为两个通孔。

减重孔6的孔体积约占基部7总体积的1/4～1/8。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。