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振幅掩模和用其制作长周期光栅滤波器的装置

摘要

一种用于长周期光栅滤波器制作装置的振幅掩模,包括:一个具有周期性选择透光的透过区和不透光的非透过区的金属基片;和一个形成在该金属基片非透过区上,用于改变透过区周期的压电变频器。该透过区形成在金属基片的中间,压电变频器形成在透过区的上方和下方。多个压电变频器形成在非透过区上,以改变透过区的周期。

著录项

  • 公开/公告号CN1120991C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2003-09-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星电子株式会社;

    申请/专利号CN98103044.0

  • 发明设计人 章絑宁;郭京昊;崔普勋;

    申请日1998-07-21

  • 分类号G02B6/34;

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人朱进桂

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2022-08-23 08:56:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-09-23

    专利权的终止(未缴年费专利权终止)

    专利权的终止(未缴年费专利权终止)

  • 2003-09-10

    授权

    授权

  • 1999-01-27

    公开

    公开

  • 1998-12-16

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

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