首页> 中国专利> 掺镓晶体硅锅底料的回收方法、掺镓晶体硅

掺镓晶体硅锅底料的回收方法、掺镓晶体硅

摘要

本发明公开了一种掺镓晶体硅锅底料的回收方法,包括以下步骤:砸碎;将锅底料砸碎,制备得到一定粒度的小料;烘烤;将所述小料在一定温度下烘烤一定时间,并自然降温冷却;酸洗;将所述烘烤完的所述小料浸入酸溶液中进行一定时间的酸洗;清洗烘干;将酸洗后所述小料用清水漂洗干净并烘干;提纯;将所述清洗烘干后的小料装入晶体生长炉中进行长晶提纯排杂,制备得到掺镓回收硅锭;去头尾;将所述提纯后的所述掺镓回收硅锭的头部或头部和尾部去除一定长度,得到掺镓硅块原料。本发明提供的一种掺镓晶体硅锅底料的回收方法,可有效去除掺镓锅底料中镓元素含量,使其可被回收利用,降低了硅片制造成本。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-07-04

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B29/06 专利申请号:2020115701620 申请公布日:20210528

    发明专利申请公布后的驳回

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号