一种基于电涡流效应的平面二维位移传感器

摘要

本发明公开了一种基于电涡流效应的平面二维位移传感器，包括动尺和定尺，定尺包括定尺基体和m个按照的矩阵排列的导电金属板，每个导电金属板的长度、宽度都为在X、Y方向上相邻两个导电金属板的中心距都为W；动尺包括动尺基体和四个平面矩形螺旋线圈，四个平面矩形螺旋线圈按照2×2的矩阵排列；每个平面矩形螺旋线圈的长度、宽度都为四个平面矩形螺旋线圈中分别通入同相位的交流激励电信号，当动尺相对定尺在XY平面平行移动时，通过交流电桥将各个平面矩形螺旋线圈的阻抗转换成电信号，经处理后得到动尺相对定尺在X、Y方向的直线位移。其能简化结构、提高适用性，并且减小加工工艺对测量结果的影响。