特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置

摘要

本发明涉及一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置。特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法包括如下步骤：获取样品片的前值和标准片的前值；根据如下公式计算标准片的标准值：OPALtarget＝QCtarget×OPALactual/QCactual，式中，OPALtarget表示标准片的标准值，QCactual表示样品片的前值，QCtarget表示样品片的目标值，OPALactual表示标准片的前值；根据标准片的标准值自动校准特征尺寸扫描电子显微镜机台；采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取样品片的测试值；判断样品片的测试值与样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。本发明节约了校准时间，提高了CDSEM机台的校准效率，并改善了CDSEM机台测量结果的准确性和可靠性。