公开/公告号CN112867878A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201880098437.X
发明设计人 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;
申请日2018-10-18
分类号F16F7/116(20060101);H01L21/00(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 11:06:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-06-13
授权
发明专利权授予
机译: 在沉积系统中用于非接触式输送载体的设备,用于载体非接触式输送的系统,在沉积系统中用于非接触式输送的载体以及用于在沉积系统中非接触式输送载体的方法
机译: 用于减轻载体振动的磁阻尼装置;用于承载平面物体的载体,用于运输载体的运输系统以及用于无接触地运输载体的方法
机译: 用于运输平面物体的载体,用于输送载体的传送系统,载体的非接触式传输的方法,以及用于制造涂覆的基材的方法