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用于抑制载体的振动的磁性阻尼装置;用于承载平面物体的载体、用于输送载体的输送系统和用于非接触式地输送载体的方法

摘要

描述了用于抑制载体的振动的磁性阻尼装置(100)。所述磁性阻尼装置(100)包括第一组件(110),所述第一组件包括至少一个导电板元件(111)。附加地,所述磁性阻尼装置(100)包括磁体组件(120),所述磁体组件具有沿减振方向(101)延伸的至少一个狭槽(123)。所述至少一个导电板元件(111)延伸至所述至少一个狭槽(123)中。另外,所述磁性阻尼装置(100)包括连接至磁性组件(120)的质量元件(130)和将所述质量元件(130)连接至所述第一组件(110)的弹簧装置(140)。另外,描述了用于承载平面物体的载体、用于输送载体的输送系统和用于非接触式地输送载体的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN112867878A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201880098437.X

  • 发明设计人 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;

    申请日2018-10-18

  • 分类号F16F7/116(20060101);H01L21/00(20060101);

  • 代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国;赵静

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2023-06-19 11:06:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-06-13

    授权

    发明专利权授予

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