铌酸锂薄膜波导及其制备方法、光参量振荡器装置

摘要

本申请公开了一种铌酸锂薄膜波导，该铌酸锂薄膜波导能有效避免中红外光能量被二氧化硅层吸收的问题，并且结构简单，生成成本低。此外，本申请又公开了一种上述铌酸锂薄膜波导的制备方法。再者，本申请再公开了一种基于该铌酸锂薄膜波导的光参量振荡器装置，该装置能够将近红外的激光转化为中红外的激光，并且与现有的光参量振荡器相比，具有体积小、阈值低、效率高等特点。