振动抑制装置、振动抑制方法以及程序

摘要

一种振动抑制装置，其对具有固有振动模式的机械系统中的动作部的振动进行抑制，该机械系统包括动作部、使动作部工作的致动部、以及将动作部和致动部连结的弹性体，其中，振动抑制装置的特征在于，具备：生成机构，其生成驱动致动部的驱动信号；推定机构，其对与机械系统相关的计测量进行推定；补正机构，其基于由推定机构推定出的计测量，对由生成机构生成的驱动信号进行补正；以及变更机构，其在机械系统的模型化误差增大的期间对在推定机构中使用的增益进行变更，以使得模型化误差的增大的影响变小。

说明书

技术领域

本发明涉及对具有固有振动模式的机械系统中的动作部的振动进行抑制的振动抑制装置、振动抑制方法以及程序，该机械系统包括动作部、使动作部工作的致动部、以及将动作部与致动部连结的弹性体。

背景技术

已知有如下开环振动抑制方法：使与从安装于包含弹性体的驱动系统中的马达的干扰观测器得到的干扰转矩对应的电流通过带通滤波器，从而得到由弹性体产生的振动转矩(电流值)，并将该电流值以增益K

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-337058号公报

发明内容

发明要解决的课题

在此，在采用对由干扰观测器得到的干扰转矩进行滤波处理而取出振动转矩，并通过开环控制来对转矩指令进行补正的结构的情况下，若机械系统的模型化误差的影响大，则有可能由滤波处理取出错误的振动转矩成分而进行错误的振动抑制。

本发明的目的在于降低因机械系统的模型化误差而进行错误的振动抑制的可能性。

用于解决课题的方案

基于上述目的，本发明提供一种振动抑制装置，其对具有固有振动模式的机械系统中的动作部的振动进行抑制，该机械系统包括动作部、使动作部工作的致动部、以及将动作部和致动部连结的弹性体，其中，振动抑制装置具备：生成机构，其生成驱动致动部的驱动信号；推定机构，其对与机械系统相关的计测量进行推定；补正机构，其基于由推定机构推定出的计测量，对由生成机构生成的驱动信号进行补正；以及变更机构，其在机械系统的模型化误差增大的期间对在推定机构中使用的增益进行变更，以使得模型化误差的增大的影响变小。

在此，模型化误差增大的期间可以是致动部的角速度的方向反转的前后期间。

另外，可以是，推定机构使用机械系统的状态方程式中的状态量的微分值对计测量进行推定。

而且，可以是，补正机构通过对驱动信号进行基于计测量的正反馈，由此对驱动信号进行补正。

另外，计测量可以是致动部的振动转矩的推定值或者致动部的振动转矩的微分值的推定值。在该情况下，可以是，推定机构通过对推定出的干扰进行滤波处理，从而根据干扰来算出振动转矩的推定值或者振动转矩的微分值的推定值。并且，可以是，变更机构可以将滤波处理中的收敛增益作为增益来使用。

而且，计测量也可以是致动部的振动转矩的推定值或者致动部的振动转矩的推定值的微分值。在该情况下，可以是，推定机构通过对推定出的干扰进行遗忘因子以及加权的最小二乘推定，由此根据干扰算出振动转矩的推定值。并且，可以是，变更机构将遗忘因子以及加权的最小二乘推定中的权重作为增益来使用。

另外，计测量也可以是动作部的角速度的推定值。在该情况下，可以是，变更机构将在算出角速度的推定值时所使用的收敛增益作为增益来使用。

或者，计测量也可以是弹性体的弹性变形角速度的推定值。

另外，本发明也提供一种振动抑制方法，其对具有固有振动模式的机械系统中的动作部的振动进行抑制，该机械系统包括动作部、使动作部工作的致动部、以及将动作部和致动部连结的弹性体，其中，振动抑制方法包括如下步骤：在机械系统的模型化误差增大的期间对增益进行变更以使得模型化误差的增大的影响变小，且在该期间以外不对增益进行变更，由此对与机械系统相关的计测量进行推定的步骤；以及基于推定出的计测量，对驱动致动部的驱动信号进行补正的步骤。

而且，本发明也提供一种使计算机作为振动抑制装置发挥功能的程序，该振动抑制装置对具有固有振动模式的机械系统中的动作部的振动进行抑制，该机械系统包括动作部、使动作部工作的致动部、以及将动作部和致动部连结的弹性体，其中，程序用于使计算机作为生成机构、推定机构、补正机构、以及变更机构发挥功能，生成机构生成驱动致动部的驱动信号，推定机构对与机械系统相关的计测量进行推定，补正机构基于由推定机构推定出的计测量，对由生成机构生成的驱动信号进行补正，变更机构在机械系统的模型化误差增大的期间对在推定机构中使用的增益进行变更，以使得模型化误差的增大的影响变小。

发明效果

根据本发明，能够降低因机械系统的模型化误差而进行错误的振动抑制的可能性。

附图说明

图1是示出应用本实施方式的机械系统10的结构的图。

图2是示出微小运动时的振动行为中的、没有进行振动抑制的情况下的振动行为的模拟结果的图表。

图3是示出微小运动时的振动行为中的、利用现有技术进行了振动抑制的情况下的振动行为的模拟结果的图表。

图4是示出第一实施方式的机械控制系统的结构例的框图。

图5的(a)是示出现有技术的周期干扰观测器中的干扰推定结果的图表，图5的(b)是示出第一实施方式的周期干扰观测器中的干扰推定结果的图表。

图6是示出将反馈增益G

图7是示出将反馈增益G

图8是示出将反馈增益G

图9是示出第一实施方式的控制器的收敛增益变更部、周期干扰观测器等的动作例的流程图。

图10是示出第二实施方式的机械控制系统的结构例的框图。

图11是示出第二实施方式的控制器的权重变更部、最小二乘推定部等的动作例的流程图。

图12是示出第三实施方式的机械控制系统的构成有周期干扰速度观测器的情况的结构例的框图。

图13是示出第三实施方式的控制器的收敛增益变更部、周期干扰速度观测器等的动作例的流程图。

图14是示出第四实施方式的机械控制系统的结构例的框图。

图15是示出第四实施方式的控制器的权重变更部、最小二乘推定部等的动作例的流程图。

图16是示出第五实施方式的机械控制系统的结构例的框图。

图17是示出用于根据马达角速度和转矩来计算臂角速度推定值的流程的框图。

图18是示出未对收敛增益与目标角速度相应地进行变更的情况下的臂角速度的实际值与臂角速度推定值的差异的图表。

图19是示出使用未对收敛增益与目标角速度相应地进行变更的情况下的臂角速度推定值进行了反馈而得到的结果的图表。

图20是示出对收敛增益与目标角速度相应地进行了变更的情况下的臂角速度的实际值与臂角速度推定值的差异的图表。

图21是示出使用对收敛增益与目标角速度相应地进行了变更的情况下的臂角速度推定值进行了反馈而得到的结果的图表。

图22是示出第五实施方式的控制器的收敛增益变更部、臂角速度推定观测器等的动作例的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。

[本实施方式的背景]

图1是示出应用本实施方式的机械系统10的结构的图。如图所示，机械系统10是通过将臂1与马达2用减速机等的弹性体3结合而构成的、具有固有振动模式的机械系统。另外，将臂1的旋转角设为θ

[数1]

在该式中，臂1的固有振动频率为√(K/J

在此，作为现有技术，可考虑构成干扰观测器，对干扰观测器的输出进行滤波处理而取出振动转矩成分，并通过开环控制来对驱动信号进行补正的技术。

在良好地被控制的机器人等中，通常驱动信号中的振动转矩成分微小，而容易受到模型化误差的影响。特别是在机器人等进行微小动作的情况下，摩擦力的影响成为支配性的因素，在折回动作时摩擦力激变。此时，产生的模型化误差激增，所包含的频率成分也包含复杂的高频成分。

若在这样的状况下应用现有技术，则干扰观测器的输出较大地受到由折回时的摩擦力引起的模型化误差的影响，即使要进行滤波处理来取出振动转矩成分，也会取出错误的成分。特别是在相位偏差90°以上时，振动抑制效果消失，反而存在对振动进行励振的可能性。由于上述模型化误差的影响，即使对于用现有技术推定出的振动转矩成分，相对于真实值也产生90°以上的相位偏差，结果反而进行了励振。即，在折回时，成为模型化误差成分比振动转矩成分大非常多的状况，而在现有技术中导致基于错误的推定结果进行控制。

图2及图3是示出微小运动时的振动行为的模拟结果的图表。其中，图2示出没有进行振动抑制的情况下的振动行为，图3示出通过现有技术进行了振动抑制的情况下的振动行为。由这些图可知，通过现有技术完全没有抑制振动。

需要说明的是，图3是励振力f不起作用的情况下的模拟结果，但在励振力f起作用的情况下，由于模型化误差的影响而造成相位偏差，在现有技术中反而存在使振动冗余的可能性。

因此，在本实施方式中，在模型化误差(特别是包含高频成分)大的部位处，通过减小推定部的增益来减小模型化误差的影响。具体而言，在摩擦力的模型化误差的变化剧烈的、马达角速度的方向反转的前后期间，减小观测器的收敛增益、或者减小最小二乘推定中的权重，从而减小模型化误差的影响。

[第一实施方式]

图4是示出第一实施方式的机械控制系统100的结构例的框图。如图所示，该机械控制系统100包括机械系统10、以及对机械系统10进行控制的控制器20。在控制器20中，例如CPU(未图示)从ROM等存储单元(未图示)读入程序并执行，由此实现各功能。在本实施方式中，作为振动抑制装置的一例，设置有控制器20。

首先，对机械系统10的功能结构进行说明。

如图所示，机械系统10包括运算器11至15。

运算器11取得从励振力f中减去由运算器12输出的臂摩擦力f

运算器12取得由运算器11输出的臂角速度dθ

运算器13取得从由控制器20输出的指令转矩τ中减去由运算器14输出的马达摩擦力f

运算器14取得由运算器13输出的马达角速度dθ

运算器15取得弹性变形速度dε/dt，该弹性变形速度dε/dt通过从由运算器11输出的臂角速度dθ

接下来，对控制器20的功能结构进行说明。

如图所示，控制器20包括PID控制部21、惯性补偿部22、以及摩擦补偿部23。

PID控制部21取得从对控制器20指示的、马达2的目标的角速度(以下，称为“目标角速度”)dθ

惯性补偿部22取得对控制器20指示的目标角速度dθ

摩擦补偿部23取得对控制器20指示的目标角速度dθ

需要说明的是，在说明书的数学式及附图中，虽然将帽子符号标注于文字的正上方，但在说明书的文本中，将帽子符号标注于文字的后方。在本实施方式中，作为生成驱动信号的生成机构的一例，设置有PID控制部21、惯性补偿部22、摩擦补偿部23。

另外，控制器20包括振动转矩推定部30。振动转矩推定部30取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

运算部31取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

周期干扰观测器32取得干扰转矩d，该干扰转矩d通过从由运算部31输出的惯性力和由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的转矩这两者的和中减去对马达2的指令转矩τ而得到。然后，通过对干扰转矩d进行仅取出由下式表示的固有振动频率ω的振动成分的滤波处理，来运算振动转矩推定值d

[数2]

在本实施方式中，作为与机械系统相关的计测量的一例，使用振动转矩推定值d

而且，控制器20包括运算部33。运算部33取得由振动转矩推定部30输出的振动转矩推定值d

由此，对由PID控制部21输出的反馈转矩加上由惯性补偿部22输出的基于惯性模型的前馈转矩，并对其结果加上由运算部33输出的振动抑制转矩。在该意义上，运算部33是基于计测量对驱动信号进行补正的补正机构的一例。并且，对其结果加上由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的前馈转矩，其结果成为对马达2的指令转矩τ。

然而，在第一实施方式中，控制器20除了这些结构之外还包括收敛增益变更部34。收敛增益变更部34通过与对控制器20指示的目标角速度dθ

图5的(a)是示出现有技术的周期干扰观测器32中的干扰推定结果的图表，图5的(b)是示出第一实施方式的周期干扰观测器32中的干扰推定结果的图表。从图5的(a)、图5的(b)可知，在现有技术中，由于模型化误差的影响而完全不能推定励振力，而相对于此，在第一实施方式中，能够正确地推定励振力。

另外，图6是示出将反馈增益G

而且，图7及图8是示出增大反馈增益而将振动转矩推定值d

图9是示出第一实施方式的控制器20的收敛增益变更部34、周期干扰观测器32、运算部33等的动作例的流程图。

如图所示，在控制器20中，收敛增益变更部34判定对控制器20指示的目标角速度dθ

接下来，周期干扰观测器32通过对干扰转矩d进行仅取出固有振动频率ω的振动成分的滤波处理，由此算出振动转矩推定值d

接下来，运算部33基于在步骤103中算出的振动转矩推定值d

由此，控制器20将基于在步骤104中算出的振动抑制转矩而被补正了的指令转矩τ向马达2输出(步骤105)。

[第二实施方式]

在第一实施方式中，在振动转矩推定值d

图10是示出第二实施方式的机械控制系统200的结构例的框图。如图所示，该机械控制系统200包括机械系统10和对机械系统10进行控制的控制器20。在控制器20中，例如通过CPU(未图示)从ROM等存储单元(未图示)读入程序并执行来实现各功能。在本实施方式中，作为振动抑制装置的一例，设置有控制器20。

对于机械系统10的功能结构，由于与在第一实施方式中说明的功能结构相同，因此省略说明。

接下来，对控制器20的功能结构进行说明。

如图所示，控制器20包括PID控制部21、惯性补偿部22、以及摩擦补偿部23。对于这些结构也是，由于它们与在第一实施方式中说明的结构相同，因此省略说明。

另外，控制器20包括振动转矩推定部40。振动转矩推定部40与第一实施方式的振动转矩推定部30同样，取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

运算部41取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

最小二乘推定部42取得干扰转矩d，该干扰转矩d通过从由运算部41输出的惯性力和由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的转矩这两者的和中，减去对马达2的指令转矩τ而得到。然后，通过对干扰转矩d进行由下式表示的遗忘因子以及加权的最小二乘推定，来运算振动转矩推定值d

[数3]

在此，g(t)是在时刻t的权重，ρ是遗忘系数，d(t)是在时刻t的初始干扰值。

在本实施方式中，作为与机械系统相关的计测量的一例，使用了振动转矩推定值d

而且，控制器20包括运算部43。运算部43取得由振动转矩推定部40输出的振动转矩推定值d

由此，对由PID控制部21输出的反馈转矩加上由惯性补偿部22输出的基于惯性模型的前馈转矩，并对其结果加上由运算部43输出的振动抑制转矩。在该意义上，运算部43是基于计测量来对驱动信号进行补正的补正机构的一例。并且，对其结果加上由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的前馈转矩，其结果成为对马达2的指令转矩τ。

然而，在第二实施方式中，控制器20除了这些结构之外还包括权重变更部44。权重变更部44与对控制器20指示的目标角速度dθ

图11是示出第二实施方式的控制器20的权重变更部44、最小二乘推定部42、运算部43等的动作例的流程图。

如图所示，在控制器20中，权重变更部44判定对控制器20指示的目标角速度dθ

接下来，最小二乘推定部42对干扰转矩d进行遗忘因子以及加权的最小二乘推定，由此算出振动转矩推定值d

接下来，运算部43基于在步骤203中算出的振动转矩推定值d

由此，控制器20将基于在步骤204中算出的振动抑制转矩而被补正了的指令转矩τ向马达2输出(步骤205)。

[第三实施方式]

在第一及第二实施方式中，利用以弱于推定出的振动转矩的方式进行控制的谐振比控制而抑制了振动，但在第三实施方式中，通过对振动转矩的微分值进行负反馈而得到同样的振动抑制效果。在该情况下，既可以对周期干扰观测器的输出即振动转矩推定值进行微分并反馈，也可以构成输出振动转矩的微分值的推定值(以下，称为“振动转矩微分值推定值”)的周期干扰速度观测器，并将振动转矩微分值推定值进行反馈。

图12是示出第三实施方式的机械控制系统300的构成有周期干扰速度观测器的情况的结构例的框图。如图所示，该机械控制系统300包括机械系统10和对机械系统10进行控制的控制器20。在控制器20中，例如CPU(未图示)从ROM等存储单元(未图示)读入程序并执行，由此实现各功能。在本实施方式中，作为振动抑制装置的一例，设置有控制器20。

对于机械系统10的功能结构，由于与在第一及第二实施方式中说明的功能结构相同，因此省略说明。

接下来，对控制器20的功能结构进行说明。

如图所示，控制器20包括PID控制部21、惯性补偿部22、以及摩擦补偿部23。对于这些结构也是，由于它们与在第一及第二实施方式中说明的结构相同，因此省略说明。

另外，控制器20包括振动转矩微分值推定部50。振动转矩微分值推定部50取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

运算部41取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

周期干扰速度观测器52取得干扰转矩d，该干扰转矩d通过从由运算部51输出的惯性力和由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的转矩这两者的和中减去对马达2的指令转矩τ而得到。然后，对干扰转矩d进行取出由下式表示的固有振动频率ω的振动速度成分的滤波处理，由此运算振动转矩微分值推定值(dd

[数4]

在本实施方式中，作为与机械系统相关的计测量的一例，使用了振动转矩微分值推定值(dd

而且，控制器20包括运算部53。运算部53取得由振动转矩微分值推定部50输出的振动转矩微分值推定值(dd

由此，对由PID控制部21输出的反馈转矩加上由惯性补偿部22输出的基于惯性模型的前馈转矩，并从其结果中减去由运算部53输出的振动抑制转矩。在该意义上，运算部53是基于计测量来对驱动信号进行补正的补正机构的一例。并且，对其结果加上由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的前馈转矩，其结果成为对马达2的指令转矩τ。

然而，在第三实施方式中，控制器20除了这些结构之外还包括收敛增益变更部54。收敛增益变更部54通过与对控制器20指示的目标角速度dθ

图13是示出第三实施方式的控制器20的收敛增益变更部54、周期干扰速度观测器52、运算部53等的动作例的流程图。

如图所示，在控制器20中，收敛增益变更部54判定对控制器20指示的目标角速度dθ

接下来，周期干扰速度观测器52对干扰转矩d进行仅取出固有振动频率ω的振动速度成分的滤波处理，由此算出振动转矩微分值推定值(dd

接下来，运算部53基于在步骤303中算出的振动转矩微分值推定值(dd

由此，控制器20将基于在步骤304中算出的振动抑制转矩而被补正了的指令转矩τ向马达2输出(步骤305)。

[第四实施方式]

第四实施方式是在如第二实施方式那样使用了最小二乘推定的情况下，将振动转矩推定值的微分值(以下，称为“振动转矩推定值微分值”)进行负反馈而得到同样的振动抑制效果的实施方式。

图14是示出第四实施方式的机械控制系统400的结构例的框图。如图所示，该机械控制系统400包括机械系统10和对机械系统10进行控制的控制器20。在控制器20中，例如CPU(未图示)从ROM等存储单元(未图示)读入程序并执行，由此实现各功能。在本实施方式中，作为振动抑制装置的一例，设置有控制器20。

对于机械系统10的功能结构，由于与在第一至第三实施方式中说明的功能结构相同，因此省略说明。

接下来，对控制器20的功能结构进行说明。

如图所示，控制器20包括PID控制部21、惯性补偿部22、以及摩擦补偿部23。对于这些结构也是，由于它们与在第一至第三实施方式中说明的结构相同，因此省略说明。

另外，控制器20包括振动转矩推定部60。振动转矩推定部60与第二实施方式的振动转矩推定部40同样，取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

运算部61取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

最小二乘推定部62取得干扰转矩d，该干扰转矩d通过从由运算部61输出的惯性力和由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的转矩这两者的和中，减去对马达2的指令转矩τ而得到。然后，通过对干扰转矩d进行由下式表示的遗忘因子以及加权的最小二乘推定来运算振动转矩推定值d

[数5]

在此，g(t)是在时刻t的权重，ρ是遗忘系数，d(t)是在时刻t的初始干扰值。

而且，控制器20包括运算部63和运算部64。

运算部63取得由振动转矩推定部60输出的振动转矩推定值d

在本实施方式中，作为与机械系统相关的计测量的一例，使用了振动转矩推定值微分值d(d

运算部64取得由运算部63输出的振动转矩推定值微分值d(d

由此，对由PID控制部21输出的反馈转矩加上由惯性补偿部22输出的基于惯性模型的前馈转矩，并从其结果中减去由运算部64输出的振动抑制转矩。在该意义上，运算部64是基于计测量来对驱动信号进行补正的补正机构的一例。并且，对其结果加上由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的前馈转矩，其结果成为对马达2的指令转矩τ。

然而，在第四实施方式中，控制器20除了这些结构之外还包括权重变更部65。权重变更部65与对控制器20指示的目标角速度dθ

图15是示出第四实施方式的控制器20的权重变更部65、最小二乘推定部62、运算部63、运算部64等的动作例的流程图。

如图所示，在控制器20中，权重变更部65判定对控制器20指示的目标角速度dθ

接下来，最小二乘推定部62对于扰转矩d进行遗忘因子以及加权的最小二乘推定，由此算出振动转矩推定值d

然后，运算部63对在步骤403中算出的振动转矩推定值d

接下来，运算部64基于在步骤404中算出的振动转矩推定值微分值d(d

由此，控制器20将基于在步骤405中算出的振动抑制转矩而被补正了的指令转矩τ向马达2输出(步骤406)。

[第五实施方式]

在第一至第四实施方式中，构成了对干扰进行推定的观测器，但在第五实施方式中，构成对臂角速度dθ

图16是示出第五实施方式的机械控制系统500的结构例的框图。如图所示，该机械控制系统500包括机械系统10和对机械系统10进行控制的控制器20。在控制器20中，例如CPU(未图示)从ROM等存储单元(未图示)读入程序并执行，由此实现各功能。在本实施方式中，作为振动抑制装置的一例，设置有控制器20。

对于机械系统10的功能结构，由于与在第一至第四实施方式中说明的功能结构相同，因此省略说明。

接下来，对控制器20的功能结构进行说明。

如图所示，控制器20包括PID控制部21、惯性补偿部22、以及摩擦补偿部23。对于这些结构也是，由于它们与在第一至第四实施方式中说明的结构相同，因此省略说明。

另外，控制器20包括臂角速度推定部70。臂角速度推定部70取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

臂角速度推定观测器71取得由机械系统10输出的马达角速度dθ

图17是示出用于根据马达角速度dθ

如图所示，在臂角速度推定观测器71中，运算部711通过对马达角速度dθ

另一方面，运算部715通过从马达角加速度d

由此，运算部718通过对将L

这样，臂角速度推定观测器71通过最小维观测器的形式来实现。另外，通常不使用状态量dθ

在本实施方式中，作为与机械系统相关的计测量的一例，使用了臂角速度推定值(dθ

再次参照图16，控制器20包括运算部72。运算部72取得由臂角速度推定部70输出的臂角速度推定值(dθ

由此，对由PID控制部21输出的反馈转矩加上由惯性补偿部22输出的基于惯性模型的前馈转矩，并从其结果中减去由运算部72输出的振动抑制转矩。在该意义上，运算部72是基于计测量来对驱动信号进行补正的补正机构的一例。并且，对其结果加上由摩擦补偿部23输出的基于摩擦模型的前馈转矩，其结果成为对马达2的指令转矩τ。

然而，在第五实施方式中，控制器20除了这些结构之外还包括收敛增益变更部73。收敛增益变更部73与对控制器20指示的目标角速度dθ

图18及图19是示出未对收敛增益L

另一方面，图20及图21是示出对收敛增益L

图22是示出第五实施方式的控制器20的收敛增益变更部73、臂角速度推定观测器71、运算部72等的动作例的流程图。

如图所示，在控制器20中，收敛增益变更部73判定对控制器20指示的目标角速度dθ

接下来，臂角速度推定观测器71通过进行图17所示的处理来算出臂角速度推定值(dθ

接下来，运算部72基于在步骤503中算出的臂角速度推定值(dθ

由此，控制器20将基于在步骤504中算出的振动抑制转矩而被补正了的指令转矩τ向马达2输出(步骤505)。

[变形例]

在第一至第五的实施方式中，基于振动转矩推定值d

附图标记说明：

10 机械系统；

11、12、13、14、15 运算器；

20 控制器；

21 PID控制部；

22 惯性补偿部；

23 摩擦补偿部；

30、40、60 振动转矩推定部；

31、33、41、43、51、53、61、63、64、72 运算部；

32 周期干扰观测器；

34、54、73 收敛增益变更部；

42、62 最小二乘推定部；

44、65 权重变更部；

50 振动转矩微分值推定部；

52 周期干扰速度观测器；

70 臂角速度推定部；

71 臂角速度推定观测器；

100、200、300 机械控制系统。