用于难导电材料的离子/分子震荡放电加工装置及加工方法

摘要

本发明涉及材料加工技术领域，尤其公开了用于难导电材料的离子/分子震荡放电加工装置及加工方法，该方法不受工件材料的导电性的影响，只需要将工具电极与加工电源连通就可以产生放电，主轴转速控制系统控制工具电极转速，供液单元持续向难导电材料与工具电极间隙输送工作介质，高频/射频电源经进电系统向工具电极施加高频/射频电波，使得工作介质与工具电极连续产生离子/分子震荡并产生放电将难导电材料被熔融蚀除。反馈控制系统根据力传感器的力信号对旋转主轴位置进行调整，使得工具电极和难导电材料之间的加工间隙保持在预定值实现持续进行加工。能够对难导电材料进行孔加工、平面加工、三维形状加工等，提升加工精度及加工质量。