一种自然振动时空混合移相微球表面形貌检测系统

摘要

一种自然振动时空混合移相微球表面形貌检测系统，涉及的是光学检测空间物体表面三维信息的技术领域。本申请采用时域、空域混合移相的方式，以自然振动引入的随机移相量作为时域移相值，通过空域移相实时监测每帧主干涉图采集时由自然振动引入的具体移相值，并以此进行相位信息解算，最后得到的被测微球表面形貌不受环境因素中振动、空气扰动等因素的影响。它用于检测微球表面形貌。