利用飞秒激光在蓝宝石内部制备几何相位光学元件的方法

摘要

本发明公开了利用飞秒激光在蓝宝石内部制备几何相位光学元件的方法，属于激光加工技术领域,本发明将飞秒激光聚焦于材料内部，利用飞秒激光多光子诱导透明材料，先在几个脉冲的激光照射区域的中心产生微孔，利用激光诱导的结构应力，在微孔顶部和底部位置产生纳米缝隙，并通过局域的电场增强作用及纳米缝隙的种子效应，从而产生均匀的纳米光栅结构，最后通过改变扫描路径和偏振，从而实现任意几何相位器件的写入。本发明利用飞秒激光进行纳米精度制备的方法不需要真空环境，具有良好的大气/溶液加工兼容性。且可通过并行沉积种子结构和光栅扫描相结合进行大面积周期微纳结构的快速印刷，能有效降低器件的制造成本，更适合工业化生产。