公开/公告号CN112798873A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中国原子能科学研究院;
申请/专利号CN202011616416.8
申请日2020-12-30
分类号G01R27/28(20060101);G01R23/02(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张成新
地址 102413 北京市房山区新镇三强路1号院
入库时间 2023-06-19 11:00:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-28
授权
发明专利权授予
机译: 干涉测量方法和系统-具有耦合腔体几何结构的系统,可与加宽光源配合使用
机译: 具有耦合腔几何结构且可与扩展源配合使用的干涉测量方法和系统
机译: 具有耦合腔几何结构且可与扩展源配合使用的干涉测量方法和系统