用于控制真空泵的温度的方法以及相关的真空泵和设备

摘要

本发明涉及一种用于控制承受可变泵送负载的干式真空泵型的真空泵(2)的温度的方法，其中，根据温度设定点和定子(5)的温度测量值借助于联接到定子(5)的至少一个冷却元件(11a，11b)来控制该真空泵(2)的温度，其特征在于，监控指示泵送负载并且选自由真空泵(2)消耗的电流或功率的参数的值是否低于负载阈值，如果指示泵送负载的参数的值低于负载阈值，则升高温度设定点。本发明还涉及一种干式真空泵型的真空泵和一种设备。