氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层

摘要

本发明为氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层。将具有10‑500μm的厚度、1‑6wt％的氧浓度和350‑470HV的硬度的氟化钇喷涂涂层沉积在基材表面上。氟化钇喷涂涂层显示出在卤素系气体气氛或卤素系气体等离子体气氛中的优异的抗腐蚀性，起保护基材免受在酸清洁期间的酸侵入损害的作用并且使来自反应产物和由于从涂层剥离的颗粒产生最小化。