一种过渡金属氮化物核壳结构薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种过渡金属氮化物核壳结构薄膜及其制备方法。该过渡金属氮化物核壳结构薄膜包括过渡金属氮化物与陶瓷层，所述陶瓷层包覆在过渡金属氮化物表面，形成过渡金属氮化物为核、陶瓷层为壳的核壳结构；所述过渡金属氮化物为副族金属元素形成的氮化物；所述的陶瓷层为Al2O3或TiO2。本发明通过过渡金属氮化物与Al(或Ti)金属粒子复合，之后进行高温预处理，Al(或Ti)金属粒子优先氧化，形成致密保护壳(核壳结构)。本发明突破了传统的采用高熔点金属与陶瓷复合获得耐高温金属陶瓷涂层的思路，开发过渡金属氮化物核壳结构光谱涂层，利用陶瓷层对过渡金属元素的扩散抑制作用，改善光谱涂层的热稳定性。